带有抽真空系统的平板式PECVD工艺腔

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720040750.0

申请日：

2017-01-13

公开(公告)号：

CN206477025U

公开(公告)日：

2017-09-08

发明(设计)人：

傅林坚石刚洪昀吴威高振波王伟星祝广辉

申请人：

申请人地址：

312300 浙江省绍兴市上虞区通江西路218号

IPC主分类号：

C23C1644

IPC分类号：

代理机构：

杭州中成专利事务所有限公司 33212

代理人：

周世骏

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-09-08	授权	授权

共 50 条

[1]

带有抽真空系统的平板式PECVD进料腔 [P].

傅林坚 ;

石刚 ;

洪昀 ;

吴威 ;

高振波 ;

王伟星 ;

祝广辉 .

中国专利 :CN206418198U ,2017-08-18

[2]

平板式PECVD装置 [P].

陈洁欣 .

中国专利 :CN103060778A ,2013-04-24

[3]

模腔抽真空系统的真空截止阀 [P].

杨乃根 ;

杨勇 ;

戚欢兴 .

中国专利 :CN204075123U ,2015-01-07

[4]

平板式PECVD专用镀膜挂件 [P].

郭友斌 .

中国专利 :CN202705468U ,2013-01-30

[5]

带有轮循抽真空系统的平板脱水机 [P].

鲁伟 ;

王生彬 ;

韩颖 .

中国专利 :CN214214841U ,2021-09-17

[6]

平板式真空集热器 [P].

韩国理 .

中国专利 :CN202709492U ,2013-01-30

[7]

平板式PECVD专用镀膜挂件 [P].

郭友斌 .

中国专利 :CN102766856A ,2012-11-07

[8]

一种平板式PECVD设备进出料腔 [P].

唐电 ;

张威 ;

陈特超 ;

杨彬 ;

苏卫中 ;

李建志 ;

吴易龙 .

中国专利 :CN210030881U ,2020-02-07

[9]

一种平板式PECVD专用托盘 [P].

陈金元 .

中国专利 :CN211394618U ,2020-09-01

[10]

一种平板式PECVD石墨框 [P].

赵洪俊 ;

宛正 ;

李影 .

中国专利 :CN215050683U ,2021-12-07

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