一种平板式PECVD石墨框

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120126354.6

申请日：

2021-01-18

公开(公告)号：

CN215050683U

公开(公告)日：

2021-12-07

发明(设计)人：

赵洪俊宛正李影

申请人：

申请人地址：

224400 江苏省盐城市阜宁县经济开发区香港路888号

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

C23C1650

代理机构：

南京纵横知识产权代理有限公司 32224

代理人：

董建林

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-07	授权	授权

共 50 条

[1]

一种平板式PECVD设备用石墨框 [P].

陈特超 ;

禹庆荣 ;

许烁烁 ;

唐电 ;

李建志 ;

吴易龙 .

中国专利 :CN210012900U ,2020-02-04

[2]

平板式PECVD装置 [P].

陈洁欣 .

中国专利 :CN103060778A ,2013-04-24

[3]

一种平板式PECVD专用托盘 [P].

陈金元 .

中国专利 :CN211394618U ,2020-09-01

[4]

平板式PECVD专用镀膜挂件 [P].

郭友斌 .

中国专利 :CN202705468U ,2013-01-30

[5]

一种平板式PECVD机台送气管路 [P].

陈金元 .

中国专利 :CN211394624U ,2020-09-01

[6]

一种平板式PECVD的进气结构 [P].

王月勤 .

中国专利 :CN202297767U ,2012-07-04

[7]

一种平板式PECVD进气排布结构 [P].

陈金元 .

中国专利 :CN211771537U ,2020-10-27

[8]

平板式PECVD专用镀膜挂件 [P].

郭友斌 .

中国专利 :CN102766856A ,2012-11-07

[9]

一种平板式PECVD机台的U型槽 [P].

袁中存 ;

党继东 .

中国专利 :CN205133732U ,2016-04-06

[10]

一种板式PECVD石墨框承载挂钩 [P].

张道炎 ;

韩少鹏 ;

杨超 ;

姜大俊 ;

潘励刚 ;

郑旭然 ;

邢国强 .

中国专利 :CN206595243U ,2017-10-27

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