一种平板式PECVD机台的U型槽

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520944957.1

申请日：

2015-11-24

公开(公告)号：

CN205133732U

公开(公告)日：

2016-04-06

发明(设计)人：

袁中存党继东

申请人：

申请人地址：

224002 江苏省盐城市经济开发区协鑫大道88号

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

张海英;林波

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-04-06	授权	授权
2018-01-12	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20151124 授权公告日:20160406 终止日期:20161124

共 50 条

[1]

一种平板式PECVD机台送气管路 [P].

陈金元 .

中国专利 :CN211394624U ,2020-09-01

[2]

平板式PECVD装置 [P].

陈洁欣 .

中国专利 :CN103060778A ,2013-04-24

[3]

一种平板式PECVD专用托盘 [P].

陈金元 .

中国专利 :CN211394618U ,2020-09-01

[4]

一种平板式PECVD石墨框 [P].

赵洪俊 ;

宛正 ;

李影 .

中国专利 :CN215050683U ,2021-12-07

[5]

平板式PECVD专用镀膜挂件 [P].

郭友斌 .

中国专利 :CN202705468U ,2013-01-30

[6]

一种平板式PECVD的进气结构 [P].

王月勤 .

中国专利 :CN202297767U ,2012-07-04

[7]

一种太阳能电池片双面镀膜的平板式PECVD机台 [P].

何佳平 .

中国专利 :CN207727145U ,2018-08-14

[8]

一种平板式PECVD进气排布结构 [P].

陈金元 .

中国专利 :CN211771537U ,2020-10-27

[9]

平板式PECVD专用镀膜挂件 [P].

郭友斌 .

中国专利 :CN102766856A ,2012-11-07

[10]

一种板式PECVD设备中的U型槽 [P].

李静 ;

殷国安 ;

张大雨 ;

田娜 ;

马立元 .

中国专利 :CN204918760U ,2015-12-30

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