一种平板式PECVD的进气结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120383607.4

申请日：

2011-10-11

公开(公告)号：

CN202297767U

公开(公告)日：

2012-07-04

发明(设计)人：

王月勤

申请人：

申请人地址：

074000 河北省高碑店市新工业区光为绿色新能源股份有限公司

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

代理机构：

保定市燕赵恒通知识产权代理事务所 13121

代理人：

周献济

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-07-04	授权	授权
2016-08-31	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101738287580 IPC(主分类):C23C 16/455 专利号:ZL2011203836074 登记生效日:20160811 变更事项:专利权人变更前权利人:光为绿色能源科技有限公司变更后权利人:保定光为绿色能源科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:074000 河北省高碑店市新工业区光为绿色新能源股份有限公司变更后权利人:074000 河北省保定市高碑店市东方路北侧兴隆大街西侧
2016-08-31	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101738287579 IPC(主分类):C23C 16/455 专利号:ZL2011203836074 变更事项:专利权人变更前:光为绿色新能源股份有限公司变更后:光为绿色能源科技有限公司变更事项:地址变更前:074000 河北省高碑店市新工业区光为绿色新能源股份有限公司变更后:074000 河北省高碑店市新工业区光为绿色新能源股份有限公司
2021-10-29	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20111011 授权公告日:20120704

共 50 条

[1]

一种平板式PECVD进气排布结构 [P].

陈金元 .

中国专利 :CN211771537U ,2020-10-27

[2]

一种用于平板式PECVD的进气管道保护结构 [P].

傅林坚 ;

石刚 ;

洪昀 ;

吴威 ;

高振波 ;

王伟星 ;

祝广辉 .

中国专利 :CN207646284U ,2018-07-24

[3]

用于平板式PECVD的进气管道保护结构 [P].

傅林坚 ;

石刚 ;

洪昀 ;

吴威 ;

高振波 ;

王伟星 ;

祝广辉 .

中国专利 :CN108060410A ,2018-05-22

[4]

平板式PECVD装置 [P].

陈洁欣 .

中国专利 :CN103060778A ,2013-04-24

[5]

一种平板式PECVD专用托盘 [P].

陈金元 .

中国专利 :CN211394618U ,2020-09-01

[6]

一种平板式PECVD石墨框 [P].

赵洪俊 ;

宛正 ;

李影 .

中国专利 :CN215050683U ,2021-12-07

[7]

平板式PECVD专用镀膜挂件 [P].

郭友斌 .

中国专利 :CN202705468U ,2013-01-30

[8]

一种用于平板式PECVD镀膜系统的腔体结构 [P].

何振杰 .

中国专利 :CN209456568U ,2019-10-01

[9]

一种平板式PECVD机台的U型槽 [P].

袁中存 ;

党继东 .

中国专利 :CN205133732U ,2016-04-06

[10]

一种PECVD进气结构 [P].

刘正志 .

中国专利 :CN203741411U ,2014-07-30

← 1 2 3 4 5 →