一种平板式PECVD进气排布结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921972897.9

申请日：

2019-11-14

公开(公告)号：

CN211771537U

公开(公告)日：

2020-10-27

发明(设计)人：

陈金元

申请人：

申请人地址：

225400 江苏省泰州市泰兴高新技术产业开发区环溪路北侧

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C1650 H01L3118

代理机构：

苏州国卓知识产权代理有限公司 32331

代理人：

刘静宇

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-27	授权	授权

共 50 条

[1]

一种平板式PECVD的进气结构 [P].

王月勤 .

中国专利 :CN202297767U ,2012-07-04

[2]

一种用于平板式PECVD的进气管道保护结构 [P].

傅林坚 ;

石刚 ;

洪昀 ;

吴威 ;

高振波 ;

王伟星 ;

祝广辉 .

中国专利 :CN207646284U ,2018-07-24

[3]

平板式PECVD装置 [P].

陈洁欣 .

中国专利 :CN103060778A ,2013-04-24

[4]

用于平板式PECVD的进气管道保护结构 [P].

傅林坚 ;

石刚 ;

洪昀 ;

吴威 ;

高振波 ;

王伟星 ;

祝广辉 .

中国专利 :CN108060410A ,2018-05-22

[5]

一种平板式PECVD专用托盘 [P].

陈金元 .

中国专利 :CN211394618U ,2020-09-01

[6]

一种平板式PECVD石墨框 [P].

赵洪俊 ;

宛正 ;

李影 .

中国专利 :CN215050683U ,2021-12-07

[7]

平板式PECVD专用镀膜挂件 [P].

郭友斌 .

中国专利 :CN202705468U ,2013-01-30

[8]

管式PECVD进气排布结构 [P].

蔡新兴 ;

朱露 ;

张凯胜 ;

姚伟忠 ;

孙铁囤 .

中国专利 :CN208346253U ,2019-01-08

[9]

平板式PECVD设备及其气路装置 [P].

范志东 ;

程立威 ;

张小盼 ;

赵学玲 .

中国专利 :CN203639548U ,2014-06-11

[10]

一种用于平板式PECVD镀膜系统的腔体结构 [P].

何振杰 .

中国专利 :CN209456568U ,2019-10-01

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