平板式PECVD专用镀膜挂件

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220370491.5

申请日：

2012-07-27

公开(公告)号：

CN202705468U

公开(公告)日：

2013-01-30

发明(设计)人：

郭友斌

申请人：

申请人地址：

213213 江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-12	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):C23C 16/458 申请日:20120727 授权公告日:20130130
2013-01-30	授权	授权

共 50 条

[1]

平板式PECVD专用镀膜挂件 [P].

郭友斌 .

中国专利 :CN102766856A ,2012-11-07

[2]

一种平板式PECVD专用托盘 [P].

陈金元 .

中国专利 :CN211394618U ,2020-09-01

[3]

平板式PECVD装置 [P].

陈洁欣 .

中国专利 :CN103060778A ,2013-04-24

[4]

一种用于平板式PECVD镀膜系统的水冷组件 [P].

何振杰 .

中国专利 :CN209456569U ,2019-10-01

[5]

一种用于平板式PECVD镀膜系统的腔体结构 [P].

何振杰 .

中国专利 :CN209456568U ,2019-10-01

[6]

一种平板式PECVD石墨框 [P].

赵洪俊 ;

宛正 ;

李影 .

中国专利 :CN215050683U ,2021-12-07

[7]

一种平板式PECVD专用卡扣盖适配器 [P].

陆勇 ;

彭平 ;

夏中高 ;

陈伟兵 ;

李旭杰 ;

李鹏云 ;

陈庆发 ;

梁红菲 .

中国专利 :CN208218963U ,2018-12-11

[8]

平板式PECVD设备及其气路装置 [P].

范志东 ;

程立威 ;

张小盼 ;

赵学玲 .

中国专利 :CN203639548U ,2014-06-11

[9]

一种平板式PECVD机台送气管路 [P].

陈金元 .

中国专利 :CN211394624U ,2020-09-01

[10]

一种平板式PECVD的进气结构 [P].

王月勤 .

中国专利 :CN202297767U ,2012-07-04

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