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一种用于平板式PECVD镀膜系统的水冷组件
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201822096412.6
申请日：
2018-12-13
公开(公告)号：
CN209456569U
公开(公告)日：
2019-10-01
发明(设计)人：
何振杰
申请人：
申请人地址：
310051 浙江省杭州市滨江区西兴街道滨文路15号2幢A座101室
IPC主分类号：
C23C16513
IPC分类号：
C23C1646
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-10-01 | 授权 | 授权 |