一种板式PECVD设备中的U型槽

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520543839.X

申请日：

2015-07-26

公开(公告)号：

CN204918760U

公开(公告)日：

2015-12-30

发明(设计)人：

李静殷国安张大雨田娜马立元

申请人：

申请人地址：

072550 河北省保定市徐水县巨力路

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

代理机构：

保定市燕赵恒通知识产权代理事务所 13121

代理人：

王葶葶

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-30	授权	授权
2021-07-09	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20150726 授权公告日:20151230 终止日期:20200726

共 50 条

[1]

一种平板式PECVD机台的U型槽 [P].

袁中存 ;

党继东 .

中国专利 :CN205133732U ,2016-04-06

[2]

一种板式PECVD设备 [P].

陈金元 .

中国专利 :CN211394620U ,2020-09-01

[3]

一种板式PECVD设备 [P].

袁中存 ;

党继东 ;

李栋 .

中国专利 :CN204982045U ,2016-01-20

[4]

一种板式PECVD设备 [P].

袁中存 ;

党继东 .

中国专利 :CN205790037U ,2016-12-07

[5]

用于板式PECVD的铝杯及板式PECVD设备 [P].

白进谦 ;

郑伟 ;

赵阳 .

中国专利 :CN212128299U ,2020-12-11

[6]

一种板式PECVD设备 [P].

龚俊 ;

魏唯 ;

周立平 .

中国专利 :CN112176325B ,2021-01-05

[7]

一种板式PECVD的特气管路 [P].

王志勇 ;

田娜 ;

张大雨 ;

王春燕 ;

杨雄磊 .

中国专利 :CN204162784U ,2015-02-18

[8]

八个U型槽的板式PECVD特气管路的控制结构 [P].

何四红 ;

龚长松 .

中国专利 :CN202881384U ,2013-04-17

[9]

一种用于板式PECVD设备的石墨框 [P].

袁中存 ;

党继东 ;

张标 ;

沈波涛 .

中国专利 :CN205420543U ,2016-08-03

[10]

一种用于板式PECVD设备的石墨框 [P].

陈艺超 ;

郑旭然 ;

潘励刚 ;

姜大俊 ;

杨超 ;

罗本前 ;

邢国强 .

中国专利 :CN206685356U ,2017-11-28

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