一种腔体清洁装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN201620816554.3
申请日
2016-07-29
公开(公告)号
CN205926492U
公开(公告)日
2017-02-08
发明(设计)人
田志伟
申请人
申请人地址
新加坡加冷工业园区加冷坊30号#01-23/24
IPC主分类号
B08B9027
IPC分类号
代理机构
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006
代理人
王玉双
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
一种腔体清洁装置 [P]. 
莫晓世 .
中国专利 :CN210497481U ,2020-05-12
[2]
一种腔体清洁装置 [P]. 
陈明亮 .
中国专利 :CN220371838U ,2024-01-23
[3]
一种MOCVD腔体清洁装置 [P]. 
沈亚南 .
中国专利 :CN222872941U ,2025-05-16
[4]
腔体清洁装置 [P]. 
张啸 ;
魏峥颖 ;
刘涛 ;
柳小敏 ;
朱亮 .
中国专利 :CN114378021A ,2022-04-22
[5]
一种腔体自动清洁装置 [P]. 
王宁 ;
贺斌 ;
马浩军 .
中国专利 :CN213051846U ,2021-04-27
[6]
腔体清洁装置 [P]. 
杨事成 ;
张锋 ;
吴孝哲 ;
吴龙江 ;
林宗贤 .
中国专利 :CN209292474U ,2019-08-23
[7]
一种腔体滤波器的腔体清洁装置 [P]. 
汪文武 ;
王丽 ;
汪文虎 ;
许刚 ;
姚启龙 .
中国专利 :CN213256039U ,2021-05-25
[8]
一种腔体滤波器的腔体清洁装置 [P]. 
张治忠 ;
许东东 ;
李作为 ;
郭冬 ;
李平 ;
常肖 ;
郑蕾蕾 .
中国专利 :CN215696046U ,2022-02-01
[9]
一种薄膜沉积设备腔体清洁装置 [P]. 
童洲 ;
黄中山 .
中国专利 :CN217857756U ,2022-11-22
[10]
一种薄膜沉积设备腔体清洁装置及清洁方法 [P]. 
童洲 ;
黄中山 .
中国专利 :CN115041465A ,2022-09-13