一种腔体清洁装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202321832542.6

申请日：

2023-07-13

公开(公告)号：

CN220371838U

公开(公告)日：

2024-01-23

发明(设计)人：

陈明亮

申请人：

粤芯半导体技术股份有限公司

申请人地址：

510000 广东省广州市黄埔区凤凰五路28号

IPC主分类号：

B08B9/093

IPC分类号：

B08B13/00

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

卢云芊

法律状态：

授权

国省代码：

广东省广州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-01-23	授权	授权

共 50 条

[1]

一种腔体清洁装置 [P].

莫晓世 .

中国专利 :CN210497481U ,2020-05-12

[2]

一种MOCVD腔体清洁装置 [P].

沈亚南 .

中国专利 :CN222872941U ,2025-05-16

[3]

一种腔体自动清洁装置 [P].

王宁 ;

贺斌 ;

马浩军 .

中国专利 :CN213051846U ,2021-04-27

[4]

腔体清洁装置 [P].

杨事成 ;

张锋 ;

吴孝哲 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN209292474U ,2019-08-23

[5]

一种腔体滤波器的腔体清洁装置 [P].

汪文武 ;

王丽 ;

汪文虎 ;

许刚 ;

姚启龙 .

中国专利 :CN213256039U ,2021-05-25

[6]

一种腔体滤波器的腔体清洁装置 [P].

张治忠 ;

许东东 ;

李作为 ;

郭冬 ;

李平 ;

常肖 ;

郑蕾蕾 .

中国专利 :CN215696046U ,2022-02-01

[7]

一种腔体清洁装置 [P].

田志伟 .

中国专利 :CN205926492U ,2017-02-08

[8]

一种薄膜沉积设备腔体清洁装置 [P].

童洲 ;

黄中山 .

中国专利 :CN217857756U ,2022-11-22

[9]

腔体清洁装置 [P].

张啸 ;

魏峥颖 ;

刘涛 ;

柳小敏 ;

朱亮 .

中国专利 :CN114378021A ,2022-04-22

[10]

一种环形隔离器腔体清洁装置 [P].

孙维维 ;

陈宏桃 .

中国专利 :CN220804614U ,2024-04-19

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