用于RF等离子体反应器的等离子体鞘控制

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980051988.5

申请日：

2019-08-09

公开(公告)号：

CN112805920A

公开(公告)日：

2021-05-14

发明(设计)人：

艾丽亚·斯劳伯道夫迪麦西·津巴肯尼斯·米勒詹姆斯·普拉格

申请人：

申请人地址：

美国华盛顿州西雅图市

IPC主分类号：

H03K357

IPC分类号：

代理机构：

上海君立衡知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31389

代理人：

黄庆

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H03K 3/57 申请日:20190809
2021-05-14	公开	公开

共 50 条

[1]

用于等离子体反应器的增强等离子体源 [P].

V·N·托多罗 ;

G·勒雷 ;

M·D·威尔沃斯 ;

L-S·蒋 .

中国专利 :CN105340059A ,2016-02-17

[2]

磁等离子体控制电容耦合等离子体反应器 [P].

丹尼尔·J·后曼 ;

马修·L·米勒 ;

杨姜久 ;

蔡希晔 ;

麦可·巴尼斯 ;

石川哲也 ;

叶洋 .

中国专利 :CN1669108A ,2005-09-14

[3]

等离子体反应器 [P].

A·萨拉巴斯 ;

A·A·H·塔哈 ;

D·乔达里 ;

M·克林德沃特 ;

C·埃勒特 .

中国专利 :CN102237247A ,2011-11-09

[4]

等离子体反应器 [P].

G·P·奈特 ;

A·钱伯斯 .

中国专利 :CN101755322B ,2010-06-23

[5]

等离子体反应器 [P].

张婧 ;

厉建祥 ;

张铁 ;

任君朋 ;

孙峰 ;

朱云峰 ;

徐伟 .

中国专利 :CN208577431U ,2019-03-05

[6]

等离子体反应器 [P].

李大勋 ;

金冠泰 ;

宋永焄 ;

车旻锡 ;

李载玉 ;

金释俊 .

中国专利 :CN101972621A ,2011-02-16

[7]

等离子体反应器 [P].

张海洋 ;

王新鹏 .

中国专利 :CN202231939U ,2012-05-23

[8]

等离子体反应器 [P].

张海洋 ;

王新鹏 .

中国专利 :CN202210507U ,2012-05-02

[9]

等离子体反应器 [P].

左涛涛 ;

吴狄 .

中国专利 :CN211350572U ,2020-08-25

[10]

等离子体反应器 [P].

闵兴植 ;

安永斤 ;

梁成珍 .

中国专利 :CN101534930B ,2009-09-16

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