磁等离子体控制电容耦合等离子体反应器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03816804.9

申请日：

2003-05-22

公开(公告)号：

CN1669108A

公开(公告)日：

2005-09-14

发明(设计)人：

丹尼尔·J·后曼马修·L·米勒杨姜久蔡希晔麦可·巴尼斯石川哲也叶洋

申请人：

申请人地址：

美国加州

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

王学强

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-07-06	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101669482314 IPC(主分类):H01J 37/32 专利号:ZL038168049 申请日:20030522 授权公告日:20081105 终止日期:20150522
2005-11-16	实质审查的生效	实质审查的生效
2005-09-14	公开	公开
2008-11-05	授权	授权

共 50 条

[1]

具有均匀轴向分布的等离子体的电容耦合等离子体反应器 [P].

杨江贵 ;

丹尼尔·J·霍夫曼 ;

詹姆斯·D·卡尔杜奇 ;

道格拉斯·A·小布赫贝格尔 ;

罗伯特·B·哈根 ;

马修·L·米勒 ;

江康丽 ;

杰拉尔多·A·德尔加迪奥 .

中国专利 :CN100532637C ,2006-08-23

[2]

感应耦合等离子体反应器 [P].

崔大圭 .

中国专利 :CN101080133A ,2007-11-28

[3]

感应耦合等离子体反应器 [P].

崔大圭 .

中国专利 :CN104821269B ,2015-08-05

[4]

电感耦合等离子体反应器 [P].

瓦伦丁·N·托多罗夫 ;

萨姆尔·班纳 ;

安库尔·阿加瓦尔 ;

陈志刚 ;

王泽江 ;

安德鲁·阮 ;

马丁·杰夫·萨利纳斯 .

中国专利 :CN102056393B ,2011-05-11

[5]

电容耦合型等离子体处理反应器 [P].

尹志尧 ;

陈金元 ;

倪图强 .

中国专利 :CN101736326B ,2010-06-16

[6]

具有独立的电容及环形等离子体源的等离子体反应器设备 [P].

亚历山大·M·帕特森 ;

瓦伦丁·N·托多罗夫 ;

西奥多洛斯·帕纳戈波洛斯 ;

布赖恩·K·哈彻 ;

丹·卡茨 ;

爱德华·P·哈蒙德四世 ;

约翰·P·荷文 ;

亚历山大·马特尤什金 .

中国专利 :CN101064238A ,2007-10-31

[7]

电容耦合等离子体处理装置与等离子体处理方法 [P].

叶如彬 ;

涂乐义 ;

梁洁 .

中国专利 :CN108269728A ,2018-07-10

[8]

电容耦合等离子体处理装置与等离子体处理方法 [P].

叶如彬 ;

涂乐义 ;

梁洁 .

中国专利 :CN108269727A ,2018-07-10

[9]

电容耦合等离子体处理装置与等离子体处理方法 [P].

叶如彬 ;

梁洁 ;

涂乐义 ;

徐朝阳 ;

杨金全 .

中国专利 :CN107305830A ,2017-10-31

[10]

等离子体反应器 [P].

A·萨拉巴斯 ;

A·A·H·塔哈 ;

D·乔达里 ;

M·克林德沃特 ;

C·埃勒特 .

中国专利 :CN102237247A ,2011-11-09

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