电容耦合等离子体处理装置与等离子体处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610246809.1

申请日：

2016-04-20

公开(公告)号：

CN107305830A

公开(公告)日：

2017-10-31

发明(设计)人：

叶如彬梁洁涂乐义徐朝阳杨金全

申请人：

申请人地址：

201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249

代理人：

张静洁;徐雯琼

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-10-31	公开	公开
2020-02-11	授权	授权
2017-11-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20160420
2019-04-12	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):H01J 37/32 变更事项:申请人变更前:中微半导体设备（上海）有限公司变更后:中微半导体设备（上海）股份有限公司变更事项:地址变更前:201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号变更后:201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号

共 50 条

[1]

电容耦合等离子体处理装置与等离子体处理方法 [P].

叶如彬 ;

涂乐义 ;

梁洁 .

中国专利 :CN108269728A ,2018-07-10

[2]

电容耦合等离子体处理装置与等离子体处理方法 [P].

叶如彬 ;

涂乐义 ;

梁洁 .

中国专利 :CN108269727A ,2018-07-10

[3]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

叶如彬 ;

梁洁 ;

浦远 .

中国专利 :CN104733278A ,2015-06-24

[4]

电感耦合等离子体处理装置与等离子体产生装置 [P].

倪图强 ;

庞晓贝 ;

饭塚浩 .

中国专利 :CN108271307A ,2018-07-10

[5]

电容耦合等离子体处理装置 [P].

常庆环 ;

游加加 .

中国专利 :CN116053109B ,2025-10-21

[6]

等离子体处理装置 [P].

梁洁 ;

叶如彬 .

中国专利 :CN104217914B ,2014-12-17

[7]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

南象基 ;

林成龙 ;

刘钒镇 ;

宣钟宇 ;

韩奎熙 ;

许桄熀 ;

韩济愚 .

中国专利 :CN109559967A ,2019-04-02

[8]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

大矢欣伸 ;

田边明良 ;

安田吉纪 .

中国专利 :CN104599930A ,2015-05-06

[9]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 ;

舆水地盐 ;

齐藤昌司 ;

传宝一树 ;

山涌纯 .

中国专利 :CN102157325B ,2011-08-17

[10]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

周虎 ;

刘身健 ;

谢小兵 ;

严利均 .

中国专利 :CN106937472A ,2017-07-07

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