电容耦合等离子体处理装置与等离子体处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201611254369.0

申请日：

2016-12-30

公开(公告)号：

CN108269727A

公开(公告)日：

2018-07-10

发明(设计)人：

叶如彬涂乐义梁洁

申请人：

申请人地址：

201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249

代理人：

潘朱慧

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-08-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20161230
2018-07-10	公开	公开
2019-04-12	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):H01J 37/32 变更事项:申请人变更前:中微半导体设备（上海）有限公司变更后:中微半导体设备（上海）股份有限公司变更事项:地址变更前:201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号变更后:201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号

共 50 条

[1]

电容耦合等离子体处理装置与等离子体处理方法 [P].

叶如彬 ;

涂乐义 ;

梁洁 .

中国专利 :CN108269728A ,2018-07-10

[2]

电容耦合等离子体处理装置与等离子体处理方法 [P].

叶如彬 ;

梁洁 ;

涂乐义 ;

徐朝阳 ;

杨金全 .

中国专利 :CN107305830A ,2017-10-31

[3]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

叶如彬 ;

梁洁 ;

浦远 .

中国专利 :CN104733278A ,2015-06-24

[4]

电感耦合等离子体处理装置与等离子体产生装置 [P].

倪图强 ;

庞晓贝 ;

饭塚浩 .

中国专利 :CN108271307A ,2018-07-10

[5]

电容耦合等离子体处理装置 [P].

常庆环 ;

游加加 .

中国专利 :CN116053109B ,2025-10-21

[6]

等离子体处理装置 [P].

梁洁 ;

叶如彬 .

中国专利 :CN104217914B ,2014-12-17

[7]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

南象基 ;

林成龙 ;

刘钒镇 ;

宣钟宇 ;

韩奎熙 ;

许桄熀 ;

韩济愚 .

中国专利 :CN109559967A ,2019-04-02

[8]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

周虎 ;

刘身健 ;

谢小兵 ;

严利均 .

中国专利 :CN106937472A ,2017-07-07

[9]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

叶如彬 ;

倪图强 .

中国专利 :CN103476196A ,2013-12-25

[10]

一种电容耦合等离子体处理装置及其方法 [P].

叶如彬 ;

涂乐义 .

中国专利 :CN112151343A ,2020-12-29

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