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一种电容耦合等离子体处理装置及其方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910574626.6
申请日：
2019-06-28
公开(公告)号：
CN112151343A
公开(公告)日：
2020-12-29
发明(设计)人：
叶如彬
涂乐义
申请人：
申请人地址：
201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
H01L213065
H01L2167
代理机构：
上海元好知识产权代理有限公司 31323
代理人：
徐雯琼;张静洁
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-12-29 | 公开 | 公开 |
| 2021-01-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20190628 |