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一种等离子体处理装置及其处理方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201010106570.0
申请日：
2010-02-05
公开(公告)号：
CN101789362A
公开(公告)日：
2010-07-28
发明(设计)人：
倪图强
申请人：
申请人地址：
201201 上海市浦东金桥出口加工区(南区)泰华路188号
IPC主分类号：
H01L2100
IPC分类号：
代理机构：
上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249
代理人：
徐雯琼
法律状态：
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-04-22 | 专利权质押合同登记的生效、变更及注销 | 专利权质押合同登记的生效 发明名称:一种等离子体处理装置及其处理方法 申请日:20100205 授权公告日:20111005 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101712122836 IPC(主分类):H01L 21/00 专利号:ZL2010101065700 登记号:2009310000663 登记生效日:20150202 出质人:中微半导体设备(上海)有限公司 质权人:国家开发银行股份有限公司 |
| 2017-09-05 | 专利权质押合同登记的生效、变更及注销 | 专利权质押合同登记的注销 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101758727372 IPC(主分类):H01L 21/00 授权公告日:20111005 申请日:20100205 专利号:ZL2010101065700 登记号:2009310000663 出质人:中微半导体设备(上海)有限公司 质权人:国家开发银行股份有限公司 解除日:20170809 |
| 2011-10-05 | 授权 | 授权 |
| 2010-09-22 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101006040544 IPC(主分类):H01L 21/00 专利申请号:2010101065700 申请日:20100205 |
| 2010-07-28 | 公开 | 公开 |
| 2019-04-05 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/00 变更事项:专利权人 变更前:中微半导体设备(上海)有限公司 变更后:中微半导体设备（上海）股份有限公司 变更事项:地址 变更前:201201 上海市浦东金桥出口加工区(南区)泰华路188号 变更后:201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号 |