使用冷氢焰清洁玻璃基片的装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02822951.7

申请日：

2002-11-20

公开(公告)号：

CN1589183A

公开(公告)日：

2005-03-02

发明(设计)人：

大卫·T·梁杜蒂·M·林陈秀男

申请人：

申请人地址：

新加坡

IPC主分类号：

B08B700

IPC分类号：

C03C2300 C03B3200 G02F11333 H01L21304

代理机构：

北京德琦知识产权代理有限公司

代理人：

罗正云;宋志强

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-09-22	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101005901958 IPC(主分类):B08B 7/00 专利号:ZL028229517 申请日:20021120 授权公告日:20061018
2006-10-18	授权	授权
2009-01-21	专利权的终止(未缴年费专利权终止)	专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2005-05-04	实质审查的生效	实质审查的生效
2005-03-02	公开	公开

共 50 条

[1]

清洁圆盘形玻璃基片和磁盘的方法 [P].

宮原修 ;

万波和夫 ;

染谷邦之 ;

丸山勉 .

中国专利 :CN1899710A ,2007-01-24

[2]

用于清洁基片边缘的装置和方法 [P].

C·克罗斯 ;

K·阿皮奇 ;

J·斯泽克雷舒 ;

P·德雷斯 ;

A·舒沃森兹 .

中国专利 :CN1864243A ,2006-11-15

[3]

玻璃基片的清理装置和玻璃基片的清理研磨系统 [P].

易国兵 .

中国专利 :CN203779328U ,2014-08-20

[4]

包装玻璃基片的方法和设备 [P].

F·T·科波拉 ;

M·J·马申斯基 ;

D·A·特玛罗 ;

Y·石 .

中国专利 :CN1930055A ,2007-03-14

[5]

涂敷-玻璃基片的方法和设备 [P].

R·D·古德曼 .

中国专利 :CN1105180A ,1995-07-12

[6]

经涂布的玻璃表面和涂布玻璃基片的方法 [P].

R·L·斯图尔 .

中国专利 :CN102272065A ,2011-12-07

[7]

玻璃基片的研磨方法 [P].

内藤努 .

中国专利 :CN1254633A ,2000-05-31

[8]

处理基片的装置和方法 [P].

李晓山 ;

高镛璿 ;

金庆燮 ;

金光秀 ;

金石训 ;

李根泽 ;

田溶明 ;

赵庸真 .

中国专利 :CN107170700B ,2017-09-15

[9]

处理基片的装置和方法 [P].

李晓山 ;

高镛璿 ;

金庆燮 ;

金光秀 ;

金石训 ;

李根泽 ;

田溶明 ;

赵庸真 .

中国专利 :CN103151285B ,2013-06-12

[10]

基片的运送装置和方法 [P].

U·斯佩尔 ;

K·维贝尔 .

中国专利 :CN1298364A ,2001-06-06

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