一种真空蒸镀装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201621402841.6

申请日：

2016-12-20

公开(公告)号：

CN206375995U

公开(公告)日：

2017-08-04

发明(设计)人：

吕磊滨田阎洪刚雷志宏

申请人：

申请人地址：

200120 上海市浦东新区龙东大道6111号1幢509室

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

孟金喆;胡彬

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-08-04	授权	授权
2021-11-12	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/24 登记生效日:20211029 变更事项:专利权人变更前权利人:上海天马有机发光显示技术有限公司变更后权利人:武汉天马微电子有限公司变更事项:地址变更前权利人:200120 上海市浦东新区龙东大道6111号1幢509室变更后权利人:430205 湖北省武汉市东湖新技术开发区流芳园横路8号变更事项:专利权人变更前权利人:天马微电子股份有限公司变更后权利人:武汉天马微电子有限公司上海分公司天马微电子股份有限公司

共 50 条

[1]

一种真空蒸镀装置 [P].

刘昕 ;

江社明 ;

仲海峰 ;

习中革 ;

李远鹏 ;

张杰 ;

邱肖盼 ;

张子月 ;

张启富 .

中国专利 :CN209836289U ,2019-12-24

[2]

真空蒸镀装置 [P].

松本祐司 ;

藤本英志 ;

藤本惠美子 ;

大工博之 .

中国专利 :CN203768445U ,2014-08-13

[3]

真空蒸镀装置 [P].

冈田利幸 ;

藤本惠美子 ;

大工博之 .

中国专利 :CN202786404U ,2013-03-13

[4]

一种真空蒸镀源 [P].

景东 .

中国专利 :CN208917283U ,2019-05-31

[5]

一种真空蒸镀设备 [P].

李同裕 .

中国专利 :CN216192657U ,2022-04-05

[6]

一种真空蒸镀设备 [P].

高永喜 ;

武启飞 ;

廖良生 ;

赵鹏鹏 ;

陈奇 .

中国专利 :CN211734457U ,2020-10-23

[7]

真空蒸镀装置用蒸镀源及真空蒸镀方法 [P].

木本孝仁 ;

安田仁 ;

仓内利春 ;

佐藤昌敏 .

日本专利 :CN120898021A ,2025-11-04

[8]

一种蒸镀线源装置及真空蒸镀装置 [P].

李坤 ;

刘玉洲 ;

张永祺 ;

张永胜 .

中国专利 :CN222043331U ,2024-11-22

[9]

一种蒸镀材料均匀性调节装置及真空蒸镀装置 [P].

贾文斌 ;

王欣欣 ;

彭锐 ;

叶志杰 ;

许凯 .

中国专利 :CN205576264U ,2016-09-14

[10]

一种真空蒸镀装置 [P].

刘则 .

中国专利 :CN203639542U ,2014-06-11

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