控制离子能量分布的系统、方法和装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201180046783.1

申请日：

2011-08-11

公开(公告)号：

CN103155717A

公开(公告)日：

2013-06-12

发明(设计)人：

V·布劳克 R·赫克曼 D·J·霍夫曼

申请人：

申请人地址：

美国科罗拉多州

IPC主分类号：

H05H136

IPC分类号：

C23C1652 H01L213065 C23C1454 C23F108

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

舒雄文;王英

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-01-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101559725457 IPC(主分类):H05H 1/36 专利申请号:2011800467831 申请日:20110811
2013-06-12	公开	公开
2019-05-03	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H05H 1/36 登记生效日:20190412 变更事项:专利权人变更前权利人:先进能源工业公司变更后权利人:先进工程解决方案全球控股私人有限公司变更事项:地址变更前权利人:美国科罗拉多州变更后权利人:新加坡新加坡

共 50 条

[1]

控制离子能量分布的系统、方法和装置 [P].

V·布劳克 ;

R·赫克曼 ;

D·J·霍夫曼 .

中国专利 :CN107574416A ,2018-01-12

[2]

用于控制离子能量分布的方法和设备 [P].

R·赫克曼 ;

V·布劳克 .

中国专利 :CN102217045B ,2011-10-12

[3]

控制开关模式离子能量分布系统的方法 [P].

V·布劳克 ;

D·J·霍夫曼 ;

D·卡特 .

中国专利 :CN104756238A ,2015-07-01

[4]

控制开关模式离子能量分布系统的方法 [P].

V·布劳克 ;

D·J·霍夫曼 ;

D·卡特 .

中国专利 :CN107978506A ,2018-05-01

[5]

控制开关模式离子能量分布系统的方法 [P].

V·布劳克 ;

D·J·霍夫曼 ;

D·卡特 .

中国专利 :CN104782233A ,2015-07-15

[6]

用于校准开关模式离子能量分布系统的系统和方法 [P].

D·J·霍夫曼 ;

D·卡特 ;

V·布劳克 .

中国专利 :CN104756228A ,2015-07-01

[7]

用于在加工等离子体时控制离子能量分布的装置和方法 [P].

吉田祐介 ;

谢尔盖·沃罗宁 ;

阿洛科·兰詹 ;

大卫·库穆 ;

斯科特·怀特 .

中国专利 :CN111937114A ,2020-11-13

[8]

用于在加工等离子体时控制离子能量分布的装置和方法 [P].

吉田祐介 ;

谢尔盖·沃罗宁 ;

阿洛科·兰詹 ;

大卫·库穆 ;

斯科特·怀特 .

日本专利 :CN111937114B ,2024-09-17

[9]

能量分布系统的控制装置和用于控制能量分布系统的方法 [P].

A.沙德 ;

R.鲍尔 ;

S.克洛泽 ;

S.苏比亚 .

中国专利 :CN104979842B ,2015-10-14

[10]

用于对等离子体中的离子能量分布进行数字控制的方法和装置 [P].

K·拉马斯瓦米 ;

杨扬 ;

郭岳 .

美国专利 :CN117751421A ,2024-03-22

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