控制开关模式离子能量分布系统的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711336133.6

申请日：

2013-08-26

公开(公告)号：

CN107978506A

公开(公告)日：

2018-05-01

发明(设计)人：

V·布劳克 D·J·霍夫曼 D·卡特

申请人：

申请人地址：

美国科罗拉多州

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

林金朝;王英

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-09	授权	授权
2018-05-01	公开	公开
2018-05-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20130826
2019-05-03	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):H01J 37/32 登记生效日:20190416 变更事项:申请人变更前权利人:先进能源工业公司变更后权利人:先进工程解决方案全球控股私人有限公司变更事项:地址变更前权利人:美国科罗拉多州变更后权利人:新加坡新加坡

共 50 条

[1]

控制开关模式离子能量分布系统的方法 [P].

V·布劳克 ;

D·J·霍夫曼 ;

D·卡特 .

中国专利 :CN104756238A ,2015-07-01

[2]

控制开关模式离子能量分布系统的方法 [P].

V·布劳克 ;

D·J·霍夫曼 ;

D·卡特 .

中国专利 :CN104782233A ,2015-07-15

[3]

用于校准开关模式离子能量分布系统的系统和方法 [P].

D·J·霍夫曼 ;

D·卡特 ;

V·布劳克 .

中国专利 :CN104756228A ,2015-07-01

[4]

控制离子能量分布的系统、方法和装置 [P].

V·布劳克 ;

R·赫克曼 ;

D·J·霍夫曼 .

中国专利 :CN103155717A ,2013-06-12

[5]

控制离子能量分布的系统、方法和装置 [P].

V·布劳克 ;

R·赫克曼 ;

D·J·霍夫曼 .

中国专利 :CN107574416A ,2018-01-12

[6]

用于监测开关模式离子能量分布系统的故障、异常和其它特性的系统和方法 [P].

D·卡特 ;

V·布劳克 ;

D·J·霍夫曼 .

中国专利 :CN104769707A ,2015-07-08

[7]

用于控制离子能量分布的方法和设备 [P].

R·赫克曼 ;

V·布劳克 .

中国专利 :CN102217045B ,2011-10-12

[8]

在等离子体处理系统中控制离子能量分布 [P].

安德里亚斯·费舍尔 ;

艾利克·哈德森 .

中国专利 :CN102257886B ,2011-11-23

[9]

能量分布系统的控制装置和用于控制能量分布系统的方法 [P].

A.沙德 ;

R.鲍尔 ;

S.克洛泽 ;

S.苏比亚 .

中国专利 :CN104979842B ,2015-10-14

[10]

通过针对离子能量分布的RF波形修改的反馈控制 [P].

戴维·J·库莫 ;

R·莱因哈特 ;

Y·埃尔纳 ;

丹尼尔·M·吉尔 ;

理查德·范 .

中国专利 :CN112908824A ,2021-06-04

← 1 2 3 4 5 →