用于监测开关模式离子能量分布系统的故障、异常和其它特性的系统和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201380056048.8

申请日：

2013-08-26

公开(公告)号：

CN104769707A

公开(公告)日：

2015-07-08

发明(设计)人：

D·卡特 V·布劳克 D·J·霍夫曼

申请人：

申请人地址：

美国科罗拉多州

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

林金朝;王英

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-04-13	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101730837797 IPC(主分类):H01L 21/66 专利申请号:2013800560488 申请公布日:20150708
2015-07-08	公开	公开

共 50 条

[1]

用于校准开关模式离子能量分布系统的系统和方法 [P].

D·J·霍夫曼 ;

D·卡特 ;

V·布劳克 .

中国专利 :CN104756228A ,2015-07-01

[2]

控制开关模式离子能量分布系统的方法 [P].

V·布劳克 ;

D·J·霍夫曼 ;

D·卡特 .

中国专利 :CN104756238A ,2015-07-01

[3]

控制开关模式离子能量分布系统的方法 [P].

V·布劳克 ;

D·J·霍夫曼 ;

D·卡特 .

中国专利 :CN107978506A ,2018-05-01

[4]

控制开关模式离子能量分布系统的方法 [P].

V·布劳克 ;

D·J·霍夫曼 ;

D·卡特 .

中国专利 :CN104782233A ,2015-07-15

[5]

控制离子能量分布的系统、方法和装置 [P].

V·布劳克 ;

R·赫克曼 ;

D·J·霍夫曼 .

中国专利 :CN107574416A ,2018-01-12

[6]

控制离子能量分布的系统、方法和装置 [P].

V·布劳克 ;

R·赫克曼 ;

D·J·霍夫曼 .

中国专利 :CN103155717A ,2013-06-12

[7]

用于控制离子能量分布的方法和设备 [P].

R·赫克曼 ;

V·布劳克 .

中国专利 :CN102217045B ,2011-10-12

[8]

监测开关模式电源的系统和方法 [P].

C·海林 ;

J·巴伦舍恩 ;

M·伯古斯 ;

B·科普尔 ;

M·扎诺斯 .

中国专利 :CN112698235A ,2021-04-23

[9]

能量分布系统的控制装置和用于控制能量分布系统的方法 [P].

A.沙德 ;

R.鲍尔 ;

S.克洛泽 ;

S.苏比亚 .

中国专利 :CN104979842B ,2015-10-14

[10]

用于在加工等离子体时控制离子能量分布的装置和方法 [P].

吉田祐介 ;

谢尔盖·沃罗宁 ;

阿洛科·兰詹 ;

大卫·库穆 ;

斯科特·怀特 .

中国专利 :CN111937114A ,2020-11-13

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