一种旋转镍铬合金靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910717231.7

申请日：

2019-08-05

公开(公告)号：

CN110453186A

公开(公告)日：

2019-11-15

发明(设计)人：

吴健雷雨肖世洪周志宏沈艳斌周昭寅

申请人：

申请人地址：

510800 广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C2404 C23C4131 C23C408 C22C2706 C22C1905

代理机构：

广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205

代理人：

林德强

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-12-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20190805
2019-11-15	公开	公开
2022-04-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/34 申请公布日:20191115

共 50 条

[1]

一种镍铬合金靶材及其制备方法 [P].

刘联平 ;

马国成 ;

童培云 ;

钟小华 ;

高建成 .

中国专利 :CN119121147A ,2024-12-13

[2]

一种铌旋转靶材及其制备方法 [P].

周志宏 ;

肖世洪 ;

雷雨 ;

肖世文 ;

沈艳斌 ;

周昭寅 .

中国专利 :CN109518141A ,2019-03-26

[3]

一种旋转硅磷合金靶材及其制备方法与应用 [P].

雷雨 ;

周志宏 ;

肖世洪 ;

赵明增 ;

杨永添 .

中国专利 :CN111118437A ,2020-05-08

[4]

一种镍铬铝钇硅合金靶材的制备方法 [P].

黄宇彬 ;

朱刘 ;

童培云 ;

何坤鹏 ;

钱增杰 .

中国专利 :CN111719127A ,2020-09-29

[5]

一种多元合金靶材及其制备方法 [P].

张凤戈 ;

张学华 ;

魏铁峰 ;

岳万祥 ;

张欠男 ;

高众 .

中国专利 :CN114000113A ,2022-02-01

[6]

一种NiCrAlY合金靶材及其制备方法 [P].

张凤戈 ;

孟晓亭 ;

魏铁峰 ;

张学华 ;

姚伟 .

中国专利 :CN117733157A ,2024-03-22

[7]

一种铌合金靶材及其制备方法 [P].

李桂鹏 ;

汪凯 ;

张国军 ;

吴红 ;

张春恒 ;

李兆博 ;

任萍 ;

任晓 ;

郭从喜 .

中国专利 :CN103866245A ,2014-06-18

[8]

一种含硼合金靶材及其制备方法 [P].

张路长 ;

张凤戈 ;

郝权 ;

姜海 ;

唐培新 ;

何向晖 ;

赵雷 ;

缪磊 .

中国专利 :CN105925865A ,2016-09-07

[9]

一种高纯度、高成分均匀性的镍铬合金靶材及其制备方法 [P].

吴波 ;

黄超然 ;

刘海龙 ;

王敏 ;

李锋宝 .

中国专利 :CN102732845A ,2012-10-17

[10]

一种旋转硅镁合金靶材及其制备方法 [P].

陈钦忠 ;

张科 ;

林志河 .

中国专利 :CN105506564A ,2016-04-20

← 1 2 3 4 5 →