一种铌旋转靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910041666.4

申请日：

2019-01-16

公开(公告)号：

CN109518141A

公开(公告)日：

2019-03-26

发明(设计)人：

周志宏肖世洪雷雨肖世文沈艳斌周昭寅

申请人：

申请人地址：

510800 广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C2404

代理机构：

佛山帮专知识产权代理事务所(普通合伙) 44387

代理人：

颜德昊

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-29	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/34 申请公布日:20190326
2019-03-26	公开	公开
2019-04-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20190116

共 50 条

[1]

一种铝旋转靶材及其制造方法 [P].

周志宏 ;

肖世洪 ;

雷雨 ;

肖世文 ;

沈艳斌 ;

周昭寅 .

中国专利 :CN109706422A ,2019-05-03

[2]

铌旋转靶材及其制备方法 [P].

杨永杰 ;

秦颖楠 ;

朱永超 ;

陆海涛 ;

尹志锋 .

中国专利 :CN121178853A ,2025-12-23

[3]

一种氧化铌旋转靶材及其制备方法 [P].

张士察 ;

孙振德 .

中国专利 :CN104961463B ,2015-10-07

[4]

一种氧化铌旋转靶材及其制备方法 [P].

扈百直 ;

胥小勇 ;

刘孝宁 ;

张红梅 ;

赵清慧 ;

马文卫 ;

马建保 ;

杨小林 ;

胡海霞 .

中国专利 :CN103045995A ,2013-04-17

[5]

一种氧化铌旋转靶材及其制备方法 [P].

刘亚凡 ;

连升 ;

孙永利 ;

张涛 ;

文崇斌 ;

张文涛 ;

童培云 .

中国专利 :CN120249898A ,2025-07-04

[6]

一种钼铌合金旋转靶材及其制备方法 [P].

李培林 ;

文宏福 .

中国专利 :CN110158042B ,2019-08-23

[7]

氧化铌旋转靶材的制备方法 [P].

宋伟杰 .

中国专利 :CN110218090B ,2019-09-10

[8]

一种旋转镍铬合金靶材及其制备方法 [P].

吴健 ;

雷雨 ;

肖世洪 ;

周志宏 ;

沈艳斌 ;

周昭寅 .

中国专利 :CN110453186A ,2019-11-15

[9]

一种铝基旋转靶材及其制备方法 [P].

张凤戈 ;

魏铁峰 ;

岳万祥 ;

张欠男 ;

张学华 ;

孟晓亭 ;

施政 ;

郭桦帅 .

中国专利 :CN118951026A ,2024-11-15

[10]

一种旋转银铜靶材及制备方法 [P].

吴健 ;

黄显峰 ;

雷雨 ;

周志宏 ;

沈艳斌 ;

杨永添 .

中国专利 :CN111286702A ,2020-06-16

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