一种氧化铌旋转靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510397195.2

申请日：

2015-07-08

公开(公告)号：

CN104961463B

公开(公告)日：

2015-10-07

发明(设计)人：

张士察孙振德

申请人：

申请人地址：

101100 北京市通州区经济开发区东区靓丽五街06号

IPC主分类号：

C04B35495

IPC分类号：

C04B35622 C04B3564

代理机构：

北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015

代理人：

齐永红

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-01	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C04B 35/495 登记生效日:20200812 变更事项:专利权人变更前权利人:北京冶科纳米科技有限公司变更后权利人:北京冶科磁性材料有限公司变更事项:地址变更前权利人:101100 北京市通州区经济开发区东区靓丽五街06号变更后权利人:100000 北京市顺义区杨镇地区恒达街1号
2015-10-07	公开	公开
2017-05-17	授权	授权
2022-06-28	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C04B 35/495 申请日:20150708 授权公告日:20170517 终止日期:20210708
2015-11-11	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101632854632 IPC(主分类):C04B 35/495 专利申请号:2015103971952 申请日:20150708

共 50 条

[1]

一种氧化铌平面靶材的制备方法及氧化铌平面靶材 [P].

张士察 ;

孙振德 .

中国专利 :CN104973864A ,2015-10-14

[2]

一种高致密低电阻氧化铌旋转靶材及其制备方法 [P].

胡强楠 ;

征卫星 ;

马文卫 ;

张帅 ;

赵志勇 ;

刘秉宁 ;

孟将 ;

李正飞 ;

饶晓方 .

中国专利 :CN110467462A ,2019-11-19

[3]

氧化铌旋转靶材的制备方法 [P].

宋伟杰 .

中国专利 :CN110218090B ,2019-09-10

[4]

一种氧化铌旋转靶材及其制备方法 [P].

扈百直 ;

胥小勇 ;

刘孝宁 ;

张红梅 ;

赵清慧 ;

马文卫 ;

马建保 ;

杨小林 ;

胡海霞 .

中国专利 :CN103045995A ,2013-04-17

[5]

一种氧化铌旋转靶材及其制备方法 [P].

刘亚凡 ;

连升 ;

孙永利 ;

张涛 ;

文崇斌 ;

张文涛 ;

童培云 .

中国专利 :CN120249898A ,2025-07-04

[6]

铌旋转靶材及其制备方法 [P].

杨永杰 ;

秦颖楠 ;

朱永超 ;

陆海涛 ;

尹志锋 .

中国专利 :CN121178853A ,2025-12-23

[7]

ITiO旋转靶材及其制备方法 [P].

甘志俭 ;

庄志杰 ;

诸斌 ;

庄猛 ;

杨斌 .

中国专利 :CN111233440A ,2020-06-05

[8]

一种氧化铟锡旋转靶材的制备方法 [P].

黄誓成 ;

何建进 ;

陆映东 .

中国专利 :CN103274699A ,2013-09-04

[9]

一种铌旋转靶材及其制备方法 [P].

周志宏 ;

肖世洪 ;

雷雨 ;

肖世文 ;

沈艳斌 ;

周昭寅 .

中国专利 :CN109518141A ,2019-03-26

[10]

一种氧化铌旋转靶材的混料装置及其制备方法 [P].

郝国建 ;

王雷 ;

常代展 .

中国专利 :CN118639165A ,2024-09-13

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