一种高致密低电阻氧化铌旋转靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910732234.8

申请日：

2019-08-09

公开(公告)号：

CN110467462A

公开(公告)日：

2019-11-19

发明(设计)人：

胡强楠征卫星马文卫张帅赵志勇刘秉宁孟将李正飞饶晓方

申请人：

申请人地址：

753000 宁夏回族自治区石嘴山市大武口区冶金路119号

IPC主分类号：

C04B35495

IPC分类号：

C04B35622 C22C2912 C22C105 C23C1435 B22F304 B22F314

代理机构：

宁夏合天律师事务所 64103

代理人：

郭立宁

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 35/495 申请日:20190809
2019-11-19	公开	公开

共 50 条

[1]

一种氧化铌旋转靶材及其制备方法 [P].

张士察 ;

孙振德 .

中国专利 :CN104961463B ,2015-10-07

[2]

一种高致密性氧化铌旋转靶材的制备方法 [P].

康明生 ;

崔娜 ;

朱辉 ;

齐梦强 ;

吴洁 ;

闫丽娜 .

中国专利 :CN103668068A ,2014-03-26

[3]

一种氧化铌平面靶材的制备方法及氧化铌平面靶材 [P].

张士察 ;

孙振德 .

中国专利 :CN104973864A ,2015-10-14

[4]

一种高致密导电氧化铌靶材的制备方法 [P].

宋海涛 ;

宋爱谋 .

中国专利 :CN112592181A ,2021-04-02

[5]

一种低电阻率氧化铌掺铌溅射旋转靶材及其制备方法 [P].

罗永春 ;

曾墩风 ;

张斐 ;

王志强 .

中国专利 :CN104831243A ,2015-08-12

[6]

高致密度AZO靶材及其制备方法 [P].

王铁军 ;

张凤戈 ;

唐培新 ;

高明 ;

张路长 ;

姚惠龙 ;

缪磊 ;

王江廷 ;

孙右文 .

中国专利 :CN104418592A ,2015-03-18

[7]

高致密导电氧化铌靶材的生产方法 [P].

宋爱谋 ;

钟小亮 .

中国专利 :CN104496473A ,2015-04-08

[8]

氧化铌旋转靶材的制备方法 [P].

宋伟杰 .

中国专利 :CN110218090B ,2019-09-10

[9]

一种氧化铌旋转靶材及其制备方法 [P].

扈百直 ;

胥小勇 ;

刘孝宁 ;

张红梅 ;

赵清慧 ;

马文卫 ;

马建保 ;

杨小林 ;

胡海霞 .

中国专利 :CN103045995A ,2013-04-17

[10]

一种氧化铌旋转靶材及其制备方法 [P].

刘亚凡 ;

连升 ;

孙永利 ;

张涛 ;

文崇斌 ;

张文涛 ;

童培云 .

中国专利 :CN120249898A ,2025-07-04

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