一种氧化铌旋转靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210553666.0

申请日：

2012-12-19

公开(公告)号：

CN103045995A

公开(公告)日：

2013-04-17

发明(设计)人：

扈百直胥小勇刘孝宁张红梅赵清慧马文卫马建保杨小林胡海霞

申请人：

申请人地址：

753000 宁夏回族自治区石嘴山市大武口区冶金路119号

IPC主分类号：

C23C1402

IPC分类号：

C23C1434 C23C410

代理机构：

宁夏专利服务中心 64100

代理人：

徐淑芬

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-07-31	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 14/02 变更事项:专利权人变更前:西北稀有金属材料研究院变更后:西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司变更事项:地址变更前:753000 宁夏回族自治区石嘴山市大武口区冶金路119号变更后:753000 宁夏石嘴山市大武口冶金路119号
2013-05-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101457133280 IPC(主分类):C23C 14/02 专利申请号:2012105536660 申请日:20121219
2015-08-05	授权	授权
2018-08-14	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/02 登记生效日:20180725 变更事项:专利权人变更前权利人:西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司变更后权利人:宁夏中色新材料有限公司变更事项:地址变更前权利人:753000 宁夏石嘴山市大武口冶金路119号变更后权利人:753000 宁夏石嘴山市大武口冶金路119号
2013-04-17	公开	公开

共 50 条

[1]

一种氧化铌旋转靶材及其制备方法 [P].

刘亚凡 ;

连升 ;

孙永利 ;

张涛 ;

文崇斌 ;

张文涛 ;

童培云 .

中国专利 :CN120249898A ,2025-07-04

[2]

一种导电氧化锆旋转靶材及其制备方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN104451582A ,2015-03-25

[3]

一种氧化铌旋转靶材及其制备方法 [P].

张士察 ;

孙振德 .

中国专利 :CN104961463B ,2015-10-07

[4]

一种低电阻率氧化铌掺铌溅射旋转靶材及其制备方法 [P].

罗永春 ;

曾墩风 ;

张斐 ;

王志强 .

中国专利 :CN104831243A ,2015-08-12

[5]

一种氧化铌靶材 [P].

侯俊男 ;

牛中奇 .

中国专利 :CN212770921U ,2021-03-23

[6]

氧化铌旋转靶材的制备方法 [P].

宋伟杰 .

中国专利 :CN110218090B ,2019-09-10

[7]

铌旋转靶材及其制备方法 [P].

杨永杰 ;

秦颖楠 ;

朱永超 ;

陆海涛 ;

尹志锋 .

中国专利 :CN121178853A ,2025-12-23

[8]

一种高致密性氧化铌旋转靶材的制备方法 [P].

康明生 ;

崔娜 ;

朱辉 ;

齐梦强 ;

吴洁 ;

闫丽娜 .

中国专利 :CN103668068A ,2014-03-26

[9]

一种氧化镍旋转靶材及其制备方法 [P].

官凌宇 ;

李强 ;

林智成 ;

纪生晓 ;

杨涛 ;

邱用雪 .

中国专利 :CN121085615A ,2025-12-09

[10]

一种旋转铌靶材及其制备方法 [P].

罗永春 ;

胥小勇 ;

石煜 ;

曾墩风 ;

王志强 ;

雷雨 ;

江涛 .

中国专利 :CN107130216A ,2017-09-05

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