一种导电氧化锆旋转靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410841672.5

申请日：

2014-12-30

公开(公告)号：

CN104451582A

公开(公告)日：

2015-03-25

发明(设计)人：

不公告发明人

申请人：

申请人地址：

102208 北京市昌平区回龙观东大街336号院3号楼3层

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1408

代理机构：

北京华沛德权律师事务所 11302

代理人：

刘杰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-04-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101607350077 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2014108416725 申请日:20141230
2015-03-25	公开	公开
2020-01-14	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/35 登记生效日:20191226 变更事项:专利权人变更前权利人:北京恒隆科技有限公司变更后权利人:江苏拓创新材料科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:102208 北京市昌平区回龙观东大街336号院3号楼3层变更后权利人:226300 江苏省南通市通州区十总镇骑岸居4组
2017-09-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种旋转氧化锆靶材及其制备方法 [P].

吴健 ;

雷雨 ;

肖世洪 ;

周志宏 ;

周昭寅 .

中国专利 :CN111041432A ,2020-04-21

[2]

一种氧化铌旋转靶材及其制备方法 [P].

扈百直 ;

胥小勇 ;

刘孝宁 ;

张红梅 ;

赵清慧 ;

马文卫 ;

马建保 ;

杨小林 ;

胡海霞 .

中国专利 :CN103045995A ,2013-04-17

[3]

一种导电氧化锆旋转靶材生产装置 [P].

常代展 ;

谭明强 ;

王雷 .

中国专利 :CN113249703A ,2021-08-13

[4]

一种导电氧化锆旋转靶材制造装置 [P].

王雷 ;

常代展 ;

谭明强 .

中国专利 :CN113322435B ,2021-08-31

[5]

一种陶瓷靶材用背板的氧化锆涂层及其制备方法和应用 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王勇 ;

杨慧珍 ;

廖培君 .

中国专利 :CN117344263A ,2024-01-05

[6]

一种导电氧化锆旋转靶材制造专用装置 [P].

王雷 ;

常代展 .

中国专利 :CN211170867U ,2020-08-04

[7]

一种旋转氧化锆靶材及其制备方法 [P].

杨永添 ;

吴健 ;

周昭寅 ;

刘芳 .

中国专利 :CN114990486A ,2022-09-02

[8]

一种氧化镍旋转靶材及其制备方法 [P].

官凌宇 ;

李强 ;

林智成 ;

纪生晓 ;

杨涛 ;

邱用雪 .

中国专利 :CN121085615A ,2025-12-09

[9]

一种稳定氧化锆镀膜靶材及其制备方法 [P].

包松养 .

中国专利 :CN108675788A ,2018-10-19

[10]

一种氧化锆热障涂层的制备方法 [P].

尹志坚 ;

陈煌 ;

李海静 ;

张嵩琳 .

中国专利 :CN113025946A ,2021-06-25

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