一种导电氧化锆旋转靶材制造专用装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201922438575.2

申请日：

2019-12-30

公开(公告)号：

CN211170867U

公开(公告)日：

2020-08-04

发明(设计)人：

王雷常代展

申请人：

申请人地址：

226000 江苏省南通市通州区十总镇骑岸居4组

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1432 C23C1408

代理机构：

北京纽盟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11456

代理人：

许玉顺

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-10	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20191230 授权公告日:20200804 终止日期:20201230
2020-08-04	授权	授权

共 50 条

[1]

一种导电氧化锆旋转靶材制造装置 [P].

王雷 ;

常代展 ;

谭明强 .

中国专利 :CN113322435B ,2021-08-31

[2]

一种导电氧化锆旋转靶材生产装置 [P].

常代展 ;

谭明强 ;

王雷 .

中国专利 :CN113249703A ,2021-08-13

[3]

一种导电氧化锆旋转靶材及其制备方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN104451582A ,2015-03-25

[4]

一种氧化锆靶材专用的混料机 [P].

何海康 .

中国专利 :CN215028191U ,2021-12-07

[5]

一种氧化锆靶材专用的混料机 [P].

康明生 ;

崔娜 .

中国专利 :CN212602548U ,2021-02-26

[6]

一种旋转氧化锆靶材及其制备方法 [P].

吴健 ;

雷雨 ;

肖世洪 ;

周志宏 ;

周昭寅 .

中国专利 :CN111041432A ,2020-04-21

[7]

一种旋转氧化锆靶材及其制备方法 [P].

杨永添 ;

吴健 ;

周昭寅 ;

刘芳 .

中国专利 :CN114990486A ,2022-09-02

[8]

一种专用氧化锆锆池 [P].

李天福 ;

刘晓亮 ;

徐满满 ;

徐干干 ;

郑兵全 .

中国专利 :CN214174232U ,2021-09-10

[9]

一种旋转靶材专用固定装置 [P].

常代展 ;

杜亚飞 .

中国专利 :CN214771548U ,2021-11-19

[10]

一种溅射旋转靶材矫直装置 [P].

孔伟华 .

中国专利 :CN216095714U ,2022-03-22

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