一种薄膜应力测试装置

被引：0

申请号：

CN202122676509.6

申请日：

2021-11-03

公开(公告)号：

CN216978196U

公开(公告)日：

2022-07-15

发明(设计)人：

施生巍饶少凯罗兴安张莉周毅王超锁志勇

申请人：

申请人地址：

430205 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号

IPC主分类号：

G01L124

IPC分类号：

代理机构：

北京恒博知识产权代理有限公司 11528

代理人：

张琦

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-15	授权	授权

共 50 条

[1]

一种薄膜应力测试装置 [P].

熊雪峰 .

中国专利 :CN220690317U ,2024-03-29

[2]

薄膜应力测试装置和薄膜应力测试方法 [P].

张建华 ;

洪正 ;

殷录桥 .

中国专利 :CN107144383A ,2017-09-08

[3]

一种薄膜应力测试装置及方法 [P].

巫立斌 .

中国专利 :CN104568236A ,2015-04-29

[4]

薄膜应力测试方法 [P].

赵升升 ;

程毓 .

中国专利 :CN103630277A ,2014-03-12

[5]

一种光学薄膜应力的测试装置及测试方法 [P].

金柯 ;

刘永强 ;

杨崇民 ;

王颖辉 ;

韩俊 ;

王慧娜 ;

张建付 ;

李明伟 ;

杨益民 ;

王松林 .

中国专利 :CN104634760A ,2015-05-20

[6]

一种薄膜测试装置 [P].

张向平 ;

范晓雯 ;

赵永建 .

中国专利 :CN208833600U ,2019-05-07

[7]

一种薄膜测试装置 [P].

张向平 ;

范晓雯 ;

赵永建 .

中国专利 :CN109115606A ,2019-01-01

[8]

一种薄膜测试装置 [P].

俞冰 ;

张向平 ;

范晓雯 ;

赵永建 .

中国专利 :CN109115606B ,2024-02-02

[9]

一种反应力测试装置 [P].

时爱松 .

中国专利 :CN215227701U ,2021-12-21

[10]

信号测试装置 [P].

费林云 .

中国专利 :CN103776483A ,2014-05-07

← 1 2 3 4 5 →