薄膜应力测试方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310700453.0

申请日：

2013-12-18

公开(公告)号：

CN103630277A

公开(公告)日：

2014-03-12

发明(设计)人：

赵升升程毓

申请人：

申请人地址：

518055 广东省深圳市南山区西丽湖深圳职业技术学院

IPC主分类号：

G01L124

IPC分类号：

代理机构：

深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217

代理人：

王小青

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-04-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581317725 IPC(主分类):G01L 1/24 专利申请号:2013107004530 申请日:20131218
2020-11-13	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):G01L 1/24 登记生效日:20201103 变更事项:专利权人变更前权利人:深圳职业技术学院变更后权利人:深圳市速普仪器有限公司变更事项:地址变更前权利人:518055 广东省深圳市南山区西丽湖深圳职业技术学院变更后权利人:518051 广东省深圳市南山区南山街道桂庙路北向南瑞峰花园1栋209
2014-03-12	公开	公开
2015-10-28	授权	授权

共 50 条

[1]

薄膜应力测试仪 [P].

赵升升 ;

程毓 .

中国专利 :CN203688116U ,2014-07-02

[2]

在线薄膜应力测试方法 [P].

赵升升 ;

王启民 ;

王红英 .

中国专利 :CN120333669A ,2025-07-18

[3]

薄膜应力测试装置和薄膜应力测试方法 [P].

张建华 ;

洪正 ;

殷录桥 .

中国专利 :CN107144383A ,2017-09-08

[4]

薄膜应力测试仪及其测试方法 [P].

唐永炳 ;

蒋春磊 ;

焦国华 ;

鲁远甫 .

中国专利 :CN107219030B ,2017-09-29

[5]

一种薄膜应力测试装置 [P].

施生巍 ;

饶少凯 ;

罗兴安 ;

张莉 ;

周毅 ;

王超 ;

锁志勇 .

中国专利 :CN216978196U ,2022-07-15

[6]

一种硬质薄膜残余应力测试仪 [P].

李家宝 ;

华伟刚 ;

孙超 ;

赵升升 ;

宫骏 ;

杜昊 ;

王启民 .

中国专利 :CN201163222Y ,2008-12-10

[7]

薄膜应力测试方法及测试结构 [P].

陈兢 ;

王莎莎 .

中国专利 :CN1793833A ,2006-06-28

[8]

薄膜应力测试方法及其应用的衬底 [P].

唐永炳 ;

石磊 ;

蒋春磊 .

中国专利 :CN108692843A ,2018-10-23

[9]

薄膜应力测试方法及其应用的衬底 [P].

唐永炳 ;

石磊 ;

蒋春磊 .

中国专利 :CN108692843B ,2025-04-25

[10]

薄膜应力测试结构、测试方法及制造方法 [P].

方辉 ;

雷述宇 .

中国专利 :CN101871825B ,2010-10-27

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