薄膜应力测试方法及其应用的衬底

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710232805.2

申请日：

2017-04-11

公开(公告)号：

CN108692843A

公开(公告)日：

2018-10-23

发明(设计)人：

唐永炳石磊蒋春磊

申请人：

申请人地址：

518055 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号

IPC主分类号：

G01L500

IPC分类号：

G01L124

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

郝传鑫;熊永强

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-11-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 5/00 申请日:20170411
2018-10-23	公开	公开

共 50 条

[1]

薄膜应力测试方法及其应用的衬底 [P].

唐永炳 ;

石磊 ;

蒋春磊 .

中国专利 :CN108692843B ,2025-04-25

[2]

薄膜应力测试方法 [P].

赵升升 ;

程毓 .

中国专利 :CN103630277A ,2014-03-12

[3]

在线薄膜应力测试方法 [P].

赵升升 ;

王启民 ;

王红英 .

中国专利 :CN120333669A ,2025-07-18

[4]

薄膜应力测试仪及其测试方法 [P].

唐永炳 ;

蒋春磊 ;

焦国华 ;

鲁远甫 .

中国专利 :CN107219030B ,2017-09-29

[5]

薄膜应力测试装置和薄膜应力测试方法 [P].

张建华 ;

洪正 ;

殷录桥 .

中国专利 :CN107144383A ,2017-09-08

[6]

一种薄膜应力测试用衬底夹具 [P].

唐永炳 ;

石磊 ;

蒋春磊 .

中国专利 :CN109406017A ,2019-03-01

[7]

一种薄膜应力测试用衬底夹具 [P].

唐永炳 ;

石磊 ;

蒋春磊 .

中国专利 :CN207300461U ,2018-05-01

[8]

薄膜应力测试方法及测试结构 [P].

陈兢 ;

王莎莎 .

中国专利 :CN1793833A ,2006-06-28

[9]

薄膜应力测试结构、测试方法及制造方法 [P].

方辉 ;

雷述宇 .

中国专利 :CN101871825B ,2010-10-27

[10]

薄膜应力测试仪 [P].

赵升升 ;

程毓 .

中国专利 :CN203688116U ,2014-07-02

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