薄膜应力测试方法及测试结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510126258.7

申请日：

2005-12-02

公开(公告)号：

CN1793833A

公开(公告)日：

2006-06-28

发明(设计)人：

陈兢王莎莎

申请人：

申请人地址：

100871北京市海淀区颐和园路5号

IPC主分类号：

G01N1300

IPC分类号：

代理机构：

北京君尚知识产权代理事务所

代理人：

贾晓玲

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-06-28	公开	公开
2016-01-20	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101643312387 IPC(主分类):G01N 13/00 专利号:ZL2005101262587 申请日:20051202 授权公告日:20090624 终止日期:20141202
2006-08-23	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-06-24	授权	授权

共 50 条

[1]

薄膜应力测试结构、测试方法及制造方法 [P].

方辉 ;

雷述宇 .

中国专利 :CN101871825B ,2010-10-27

[2]

薄膜材料残余应力测试结构及方法 [P].

李伟华 ;

王雷 ;

张璐 ;

周再发 .

中国专利 :CN104034449B ,2014-09-10

[3]

薄膜应力测试方法 [P].

赵升升 ;

程毓 .

中国专利 :CN103630277A ,2014-03-12

[4]

薄膜应力测试装置和薄膜应力测试方法 [P].

张建华 ;

洪正 ;

殷录桥 .

中国专利 :CN107144383A ,2017-09-08

[5]

双层薄膜残余应力测试结构 [P].

李伟华 ;

王雷 ;

张晓强 ;

周再发 ;

刘海韵 ;

孙超 .

中国专利 :CN103439031A ,2013-12-11

[6]

在线薄膜应力测试方法 [P].

赵升升 ;

王启民 ;

王红英 .

中国专利 :CN120333669A ,2025-07-18

[7]

薄膜应力测试仪及其测试方法 [P].

唐永炳 ;

蒋春磊 ;

焦国华 ;

鲁远甫 .

中国专利 :CN107219030B ,2017-09-29

[8]

应力测试系统及测试方法 [P].

程亚宇 ;

王文军 ;

关志刚 ;

张建华 ;

王振山 ;

张相臣 ;

赵贺祥 ;

孙永忠 .

中国专利 :CN109708793A ,2019-05-03

[9]

一种光学薄膜应力的测试装置及测试方法 [P].

金柯 ;

刘永强 ;

杨崇民 ;

王颖辉 ;

韩俊 ;

王慧娜 ;

张建付 ;

李明伟 ;

杨益民 ;

王松林 .

中国专利 :CN104634760A ,2015-05-20

[10]

薄膜应力测试仪 [P].

赵升升 ;

程毓 .

中国专利 :CN203688116U ,2014-07-02

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