一种掺镓氧化锌薄膜的制备方法及其制备的薄膜和应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110067474.4

申请日：

2011-03-21

公开(公告)号：

CN102691037A

公开(公告)日：

2012-09-26

发明(设计)人：

周明杰王平陈吉星黄辉

申请人：

申请人地址：

518052 广东省深圳市南山区南海大道海王大厦A座22层

IPC主分类号：

C23C1408

IPC分类号：

C23C1435 C23C1458

代理机构：

深圳中一专利商标事务所 44237

代理人：

张全文

法律状态：

授权

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-08-27	授权	授权
2013-01-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101376127679 IPC(主分类):C23C 14/08 专利申请号:2011100674744 申请日:20110321
2020-03-10	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/08 申请日:20110321 授权公告日:20140827 终止日期:20190321
2012-09-26	公开	公开

共 50 条

[1]

一种硅掺杂氧化锌薄膜的制备方法及其制备的薄膜和应用 [P].

周明杰 ;

王平 ;

陈吉星 ;

黄辉 .

中国专利 :CN102650035B ,2012-08-29

[2]

多元素掺杂氧化锌薄膜及其制备方法和应用 [P].

周明杰 ;

王平 ;

陈吉星 ;

黄辉 .

中国专利 :CN103403213A ,2013-11-20

[3]

一种多层透明导电薄膜的制备方法及其制备的薄膜和应用 [P].

周明杰 ;

王平 ;

陈吉星 ;

黄辉 .

中国专利 :CN102134704A ,2011-07-27

[4]

一种制备氧化锌薄膜的方法和氧化锌薄膜 [P].

陈莉萍 ;

郭雪祥 ;

何绿 ;

黄仕华 ;

郭海 .

中国专利 :CN105112851A ,2015-12-02

[5]

掺硼氧化锌薄膜的制备方法 [P].

徐东 ;

徐永清 ;

郭友沛 .

中国专利 :CN103343335A ,2013-10-09

[6]

一种氧化锌薄膜的制备方法 [P].

王秀峰 ;

方俊 .

中国专利 :CN100427403C ,2006-10-11

[7]

氧化锌薄膜及其制备方法和应用 [P].

周雷 ;

朱雨富 ;

宋光 ;

李冠男 ;

张俊 .

中国专利 :CN108461385B ,2018-08-28

[8]

多层透明导电薄膜的制备方法及其制备的薄膜和应用 [P].

周明杰 ;

王平 ;

陈吉星 ;

黄辉 .

中国专利 :CN102650034A ,2012-08-29

[9]

一种多层透明导电薄膜的制备方法及其制备的薄膜和应用 [P].

周明杰 ;

王平 ;

陈吉星 ;

黄辉 .

中国专利 :CN102134699A ,2011-07-27

[10]

一种PVP掺杂氧化锌薄膜及其制备方法和应用 [P].

黄斌 ;

张赟 ;

赵志国 ;

秦校军 ;

肖平 ;

赵东明 ;

邬俊波 ;

李新连 ;

李梦洁 ;

夏渊 ;

熊继光 ;

董超 ;

刘家梁 ;

王百月 ;

冯笑丹 .

中国专利 :CN113285034A ,2021-08-20

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