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改进的蚀刻机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201721188404.3
申请日：
2017-09-15
公开(公告)号：
CN207176078U
公开(公告)日：
2018-04-03
发明(设计)人：
陈建平
申请人：
申请人地址：
314400 浙江省嘉兴市海宁市尖山新区仙侠路116号
IPC主分类号：
C23F108
IPC分类号：
代理机构：
嘉兴永航专利代理事务所(普通合伙) 33265
代理人：
蔡鼎
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-02-02 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23F 1/08 变更事项:专利权人 变更前:浙江德西瑞新能源科技股份有限公司 变更后:浙江德西瑞新能源科技有限公司 变更事项:地址 变更前:314400 浙江省嘉兴市海宁市尖山新区仙侠路116号 变更后:314400 浙江省嘉兴市海宁市尖山新区仙侠路116号 |
| 2018-04-03 | 授权 | 授权 |