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显影液废液固化分离系统
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN201920205054.X
申请日
:
2019-02-15
公开(公告)号
:
CN209668805U
公开(公告)日
:
2019-11-22
发明(设计)人
:
孙进
陆飞
陈亚
申请人
:
申请人地址
:
214000 江苏省无锡市锡山经济技术开发区蓉兴三路31号
IPC主分类号
:
C02F102
IPC分类号
:
C02F128
C02F104
B01D5375
B01D5386
B01D5304
B01D4610
A61L918
C02F10340
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2019-11-22
授权
授权
共 50 条
[21]
显影液喷淋装置
[P].
肖宇
论文数:
0
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0
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0
肖宇
.
中国专利
:CN203037995U
,2013-07-03
[22]
显影喷嘴清洗槽及显影液喷涂系统
[P].
唐磊
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唐磊
;
颜廷彪
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颜廷彪
;
黄志凯
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黄志凯
.
中国专利
:CN208727842U
,2019-04-12
[23]
一种显影液废液处理方法
[P].
肖凡
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肖凡
.
中国专利
:CN111285547A
,2020-06-16
[24]
显影液恒温管路系统
[P].
许志雄
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许志雄
.
中国专利
:CN112379580A
,2021-02-19
[25]
显影液制造装置及显影液制造方法
[P].
中川俊元
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中川俊元
;
菊川诚
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菊川诚
;
小川修
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小川修
;
森田悟
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森田悟
;
宝山隆博
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宝山隆博
.
中国专利
:CN1237398C
,2002-10-09
[26]
显影设备及其显影液供应系统
[P].
李培宏
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李培宏
.
中国专利
:CN108121174A
,2018-06-05
[27]
显影液控制系统
[P].
黄福林
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黄福林
;
郑铁元
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郑铁元
;
权训
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权训
.
中国专利
:CN101634816B
,2010-01-27
[28]
显影液浓度的控制系统
[P].
翟宏峰
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翟宏峰
.
中国专利
:CN201749294U
,2011-02-16
[29]
一种显影液稀释系统
[P].
请求不公布姓名
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机构:
江苏芯梦半导体设备有限公司
江苏芯梦半导体设备有限公司
请求不公布姓名
;
请求不公布姓名
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机构:
江苏芯梦半导体设备有限公司
江苏芯梦半导体设备有限公司
请求不公布姓名
;
请求不公布姓名
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机构:
江苏芯梦半导体设备有限公司
江苏芯梦半导体设备有限公司
请求不公布姓名
.
中国专利
:CN222567386U
,2025-03-07
[30]
一种废显影液的再生系统
[P].
连杰
论文数:
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连杰
.
中国专利
:CN217127010U
,2022-08-05
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