强磁场辅助脉冲激光沉积系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410033519.X

申请日：

2014-01-23

公开(公告)号：

CN103774097A

公开(公告)日：

2014-05-07

发明(设计)人：

戴建明张科军邹键刘亲壮盛志高朱雪斌吴文彬孙玉平

申请人：

申请人地址：

230031 安徽省合肥市蜀山区蜀山湖路350号

IPC主分类号：

C23C1428

IPC分类号：

C23C1435 C23C1458

代理机构：

北京凯特来知识产权代理有限公司 11260

代理人：

郑立明;赵镇勇

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-05-07	公开	公开
2021-01-01	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/28 申请日:20140123 授权公告日:20150701 终止日期:20200123
2015-07-01	授权	授权
2014-06-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101582695310 IPC(主分类):C23C 14/28 专利申请号:201410033519X 申请日:20140123

共 50 条

[1]

强磁场下脉冲激光沉积薄膜制备系统 [P].

戴建明 ;

方军 ;

张科军 ;

吴文彬 ;

孙玉平 .

中国专利 :CN102877032A ,2013-01-16

[2]

脉冲激光沉积系统 [P].

石永敬 .

中国专利 :CN207775343U ,2018-08-28

[3]

一种脉冲激光沉积系统 [P].

胡居广 ;

刁雄辉 ;

林晓东 ;

李启文 ;

钟健 ;

施苇 ;

刘毅 ;

龙井华 .

中国专利 :CN102051583B ,2011-05-11

[4]

脉冲激光沉积设备的水冷循环装置及脉冲激光沉积系统 [P].

代瑞娜 ;

张晓军 ;

胡凯 ;

陈志强 ;

方安安 ;

姜鹭 ;

潘恒 ;

王岩 ;

王峻岭 .

中国专利 :CN208632633U ,2019-03-22

[5]

脉冲激光沉积设备及其沉积方法 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN118600374B ,2025-01-21

[6]

脉冲激光沉积设备及其沉积方法 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN118600374A ,2024-09-06

[7]

脉冲激光沉积系统及采用该系统来沉积薄膜的方法 [P].

石永敬 .

中国专利 :CN106399949A ,2017-02-15

[8]

脉冲激光沉积系统及其薄膜制备方法 [P].

胡凯 ;

代瑞娜 ;

张晓军 ;

陈志强 ;

方安安 ;

姜鹭 ;

潘恒 ;

王岩 ;

王峻岭 .

中国专利 :CN109487219A ,2019-03-19

[9]

一种具有可控磁场的脉冲激光沉积制膜系统 [P].

宁廷银 ;

周岳亮 ;

赵嵩卿 ;

王淑芳 ;

韩鹏 ;

程波林 ;

金奎娟 ;

吕惠宾 ;

陈正豪 ;

何萌 ;

刘知韵 ;

杨国桢 .

中国专利 :CN100526497C ,2007-07-25

[10]

一种脉冲激光沉积系统 [P].

胡居广 ;

刁雄辉 ;

林晓东 ;

李启文 ;

钟健 ;

施苇 ;

刘毅 ;

龙井华 .

中国专利 :CN202054887U ,2011-11-30

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