基于白光扫描干涉的镀膜器件三维形貌测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610668555.2

申请日：

2016-08-15

公开(公告)号：

CN106123805A

公开(公告)日：

2016-11-16

发明(设计)人：

吕晓旭蔡红志周云飞刘胜德钟丽云

申请人：

申请人地址：

510631 广东省广州市天河区中山大道西55号

IPC主分类号：

G01B1124

IPC分类号：

代理机构：

深圳市智圈知识产权代理事务所(普通合伙) 44351

代理人：

韩绍君

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-30	授权	授权
2016-12-14	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101691394116 IPC(主分类):G01B 11/24 专利申请号:2016106685552 申请日:20160815
2016-11-16	公开	公开

共 50 条

[1]

一种基于白光扫描干涉的三维形貌解调方法 [P].

桑梅 ;

杜翔宇 ;

王双 ;

董洁 ;

禹敏慧 ;

刘铁根 .

中国专利 :CN111339844A ,2020-06-26

[2]

基于白光干涉的嵌入式三维形貌测量模块 [P].

陆寅 ;

侯睿媛 ;

顾天成 ;

张帅楠 ;

李航宇 ;

刘仁明 ;

雷枫 ;

陈贵宾 ;

安凤平 ;

马鹏程 ;

陈勇 ;

何广明 .

中国专利 :CN110285771A ,2019-09-27

[3]

基于扫描电镜的纳米尺度三维形貌测量方法 [P].

史玉升 ;

李中伟 ;

王从军 ;

钟凯 ;

周钢 ;

朱晓鹏 ;

湛承诚 .

中国专利 :CN102155909A ,2011-08-17

[4]

三维形貌测量光纤干涉投射条纹的相位稳定度测量方法 [P].

段发阶 ;

伯恩 ;

吕昌荣 ;

冯帆 ;

傅骁 ;

梁春疆 .

中国专利 :CN103983210A ,2014-08-13

[5]

基于条纹标定的三维形貌测量方法 [P].

孙晨 ;

王云舒 ;

丁天皓 ;

陈巨兵 ;

马少鹏 .

中国专利 :CN113091646A ,2021-07-09

[6]

一种基于数字全息扫描的三维形貌测量装置及测量方法 [P].

姚震 ;

吴易明 ;

樊鹏格 ;

朱帆 ;

尹逊龙 .

中国专利 :CN106643550B ,2017-05-10

[7]

三维形貌的测量方法及测量装置 [P].

黄鑫 .

中国专利 :CN112212815B ,2025-04-04

[8]

三维形貌的测量方法及测量装置 [P].

黄鑫 .

中国专利 :CN112212815A ,2021-01-12

[9]

一种用于表面三维形貌测量的白光干涉系统 [P].

李豪伟 ;

李慧鹏 ;

宋凝芳 ;

张春熹 .

中国专利 :CN110307805A ,2019-10-08

[10]

岩石表面三维形貌的测量方法 [P].

夏才初 ;

王伟 ;

丁增志 ;

汤渊 ;

刘远明 ;

顾翠莲 ;

汪谋 ;

曹诗定 .

中国专利 :CN101033950A ,2007-09-12

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