一种用于表面三维形貌测量的白光干涉系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910698949.6

申请日：

2019-07-31

公开(公告)号：

CN110307805A

公开(公告)日：

2019-10-08

发明(设计)人：

李豪伟李慧鹏宋凝芳张春熹

申请人：

申请人地址：

100191 北京市海淀区学院路37号

IPC主分类号：

G01B1124

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-10-08	公开	公开
2022-07-08	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B 11/24 申请日:20190731 授权公告日:20201103 终止日期:20210731
2019-11-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/24 申请日:20190731
2020-11-03	授权	授权

共 50 条

[1]

一种白光干涉三维形貌测量光学系统 [P].

姚东 .

中国专利 :CN107796330A ,2018-03-13

[2]

一种飞拍式三维白光干涉形貌测量系统 [P].

朱金龙 ;

吴启哲 ;

赵杭 ;

李泽迪 .

中国专利 :CN119437078B ,2025-09-05

[3]

一种飞拍式三维白光干涉形貌测量系统 [P].

朱金龙 ;

吴启哲 ;

赵杭 ;

李泽迪 .

中国专利 :CN119437078A ,2025-02-14

[4]

一种白光干涉三维形貌快速重建方法 [P].

文永富 ;

余嘉静 .

中国专利 :CN119206072A ,2024-12-27

[5]

任意表面三维形貌测量系统 [P].

马少鹏 ;

刘程林 ;

马沁巍 ;

曾祥福 .

中国专利 :CN102538708A ,2012-07-04

[6]

基于白光干涉的嵌入式三维形貌测量模块 [P].

陆寅 ;

侯睿媛 ;

顾天成 ;

张帅楠 ;

李航宇 ;

刘仁明 ;

雷枫 ;

陈贵宾 ;

安凤平 ;

马鹏程 ;

陈勇 ;

何广明 .

中国专利 :CN110285771A ,2019-09-27

[7]

一种物体表面三维形貌白光干涉测量装置及方法 [P].

朱云龙 ;

李卓然 ;

卢旭 ;

张浩亮 ;

祝海波 ;

张翔 ;

林蹉富 ;

党凡阳 ;

苑勇贵 ;

杨军 .

中国专利 :CN113175894A ,2021-07-27

[8]

一种白光干涉三维形貌再现装置 [P].

何祖明 ;

唐斌 ;

江兴方 ;

黄正逸 ;

伊聪 ;

王鑫竺 .

中国专利 :CN107014309A ,2017-08-04

[9]

一种白光干涉三维形貌再现装置 [P].

何祖明 ;

唐斌 ;

江兴方 ;

黄正逸 ;

伊聪 ;

王鑫竺 .

中国专利 :CN207248114U ,2018-04-17

[10]

基于白光扫描干涉的镀膜器件三维形貌测量方法 [P].

吕晓旭 ;

蔡红志 ;

周云飞 ;

刘胜德 ;

钟丽云 .

中国专利 :CN106123805A ,2016-11-16

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