一种飞拍式三维白光干涉形貌测量系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411537772.9

申请日：

2024-10-31

公开(公告)号：

CN119437078A

公开(公告)日：

2025-02-14

发明(设计)人：

朱金龙吴启哲赵杭李泽迪

申请人：

华中科技大学

申请人地址：

430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

IPC主分类号：

G01B11/24

IPC分类号：

代理机构：

华中科技大学专利中心 42201

代理人：

张琪

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

湖北省武汉市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-04	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01B 11/24申请日:20241031
2025-09-05	授权	授权
2025-02-14	公开	公开

共 50 条

[1]

一种飞拍式三维白光干涉形貌测量系统 [P].

朱金龙 ;

吴启哲 ;

赵杭 ;

李泽迪 .

中国专利 :CN119437078B ,2025-09-05

[2]

一种白光干涉三维形貌测量光学系统 [P].

姚东 .

中国专利 :CN107796330A ,2018-03-13

[3]

一种用于表面三维形貌测量的白光干涉系统 [P].

李豪伟 ;

李慧鹏 ;

宋凝芳 ;

张春熹 .

中国专利 :CN110307805A ,2019-10-08

[4]

基于白光干涉的嵌入式三维形貌测量模块 [P].

陆寅 ;

侯睿媛 ;

顾天成 ;

张帅楠 ;

李航宇 ;

刘仁明 ;

雷枫 ;

陈贵宾 ;

安凤平 ;

马鹏程 ;

陈勇 ;

何广明 .

中国专利 :CN110285771A ,2019-09-27

[5]

一种自动变焦三维形貌测量系统及方法 [P].

范朦 ;

范松如 ;

向铁军 ;

王小娟 ;

方志斌 .

中国专利 :CN112432607A ,2021-03-02

[6]

一种白光干涉三维形貌再现装置 [P].

何祖明 ;

唐斌 ;

江兴方 ;

黄正逸 ;

伊聪 ;

王鑫竺 .

中国专利 :CN107014309A ,2017-08-04

[7]

一种白光干涉三维形貌再现装置 [P].

何祖明 ;

唐斌 ;

江兴方 ;

黄正逸 ;

伊聪 ;

王鑫竺 .

中国专利 :CN207248114U ,2018-04-17

[8]

一种剪切干涉变焦三维形貌测量方法及测量系统 [P].

朱金龙 ;

张楚苗 ;

于哲 .

中国专利 :CN120293030A ,2025-07-11

[9]

一种物体表面三维形貌白光干涉测量装置及方法 [P].

朱云龙 ;

李卓然 ;

卢旭 ;

张浩亮 ;

祝海波 ;

张翔 ;

林蹉富 ;

党凡阳 ;

苑勇贵 ;

杨军 .

中国专利 :CN113175894A ,2021-07-27

[10]

基于白光扫描干涉的镀膜器件三维形貌测量方法 [P].

吕晓旭 ;

蔡红志 ;

周云飞 ;

刘胜德 ;

钟丽云 .

中国专利 :CN106123805A ,2016-11-16

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