晶圆传送盒和晶圆自动传送系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710488240.4

申请日：

2017-06-23

公开(公告)号：

CN109119369B

公开(公告)日：

2019-01-01

发明(设计)人：

甄静许琦欣王刚章力龙欣江陈西平

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-07-14	授权	授权
2019-01-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20170623
2019-01-01	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆盒、晶圆传送系统及晶圆传送方法 [P].

李言彬 ;

杨苏 ;

洪兴峰 ;

李义群 .

中国专利 :CN113192872B ,2021-07-30

[2]

晶圆传送系统和晶圆传送方法 [P].

金正泰 .

中国专利 :CN102412177B ,2012-04-11

[3]

晶圆传送系统及晶圆传送方法 [P].

谭小龙 ;

涂乐义 ;

王兆祥 ;

梁洁 ;

桂智谦 .

中国专利 :CN119008484A ,2024-11-22

[4]

晶圆传送系统及晶圆传送方法 [P].

谭小龙 ;

涂乐义 ;

王兆祥 ;

梁洁 ;

桂智谦 .

中国专利 :CN119008484B ,2025-08-19

[5]

晶圆传送系统 [P].

黄彪 ;

刘涛 ;

张欣 .

中国专利 :CN105742216A ,2016-07-06

[6]

晶圆传送系统 [P].

周亮 .

中国专利 :CN114334763A ,2022-04-12

[7]

CVD机台的晶圆传送系统和晶圆传送方法 [P].

李晶 .

中国专利 :CN102953042A ,2013-03-06

[8]

晶圆传送系统检测方法及晶圆传送系统 [P].

周亮 .

中国专利 :CN113899446A ,2022-01-07

[9]

晶圆传送系统的检测方法及晶圆传送系统 [P].

于浩 .

中国专利 :CN114295735A ,2022-04-08

[10]

晶圆盒的传送系统和方法 [P].

王硕 .

中国专利 :CN102339779B ,2012-02-01

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