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一种半导体加工设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920449158.5
申请日：
2019-04-04
公开(公告)号：
CN209434157U
公开(公告)日：
2019-09-24
发明(设计)人：
魏欢
贺振华
申请人：
申请人地址：
200120 上海市浦东新区瑞庆路528号24幢乙号3层
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-09-24 | 授权 | 授权 |