等离子体处理装置和等离子体处理装置的控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610408989.9

申请日：

2016-06-12

公开(公告)号：

CN106252190B

公开(公告)日：

2016-12-21

发明(设计)人：

佐藤亮佐佐木芳彦东条利洋

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳;王雪燕

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-12-21	公开	公开
2018-08-31	授权	授权
2017-01-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101697759762 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2016104089899 申请日:20160612

共 50 条

[1]

等离子体处理装置的控制方法和等离子体处理装置 [P].

冈信介 .

中国专利 :CN100576966C ,2007-02-14

[2]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 .

中国专利 :CN102194639B ,2011-09-21

[3]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

金子和史 .

中国专利 :CN114302547A ,2022-04-08

[4]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

镰田英纪 ;

池田太郎 ;

佐藤干夫 ;

山本伸彦 .

日本专利 :CN112788826B ,2024-09-13

[5]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 ;

齐藤昌司 ;

传宝一树 ;

輿水地盐 ;

山涌纯 .

中国专利 :CN102056396A ,2011-05-11

[6]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

镰田英纪 ;

佐藤干夫 ;

池田太郎 ;

山本伸彦 .

中国专利 :CN113615322A ,2021-11-05

[7]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

米泽亮太 ;

高桥哲朗 ;

大崎良规 ;

铃木公贵 ;

齐藤智博 ;

山下润 ;

佐藤吉宏 ;

盐泽俊彦 ;

山崎幸一 ;

古木和弘 .

中国专利 :CN102753727A ,2012-10-24

[8]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

田才忠 ;

野泽俊久 .

中国专利 :CN101347051B ,2009-01-14

[9]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

丸山幸儿 ;

堀口将人 ;

松木哲理 ;

舆石公 .

中国专利 :CN105379428B ,2016-03-02

[10]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 ;

舆水地盐 ;

齐藤昌司 ;

传宝一树 ;

山涌纯 .

中国专利 :CN102157325B ,2011-08-17

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