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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-10-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/023 申请日:20160205 |
| 2021-06-15 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):G03F 7/023 变更事项:申请人 变更前:日立化成杜邦微系统股份有限公司 变更后:艾曲迪微系统股份有限公司 变更事项:地址 变更前:日本东京都 变更后:日本东京都 |
| 2018-09-28 | 公开 | 公开 |
| 2021-06-25 | 授权 | 授权 |