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正型感光性树脂组合物
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200780028199.7
申请日：
2007-08-10
公开(公告)号：
CN101495919A
公开(公告)日：
2009-07-29
发明(设计)人：
涩井智史
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
G03F7023
IPC分类号：
G03F7004
H01L21027
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所
代理人：
刘新宇;李茂家
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2009-07-29 | 公开 | 公开 |
| 2009-08-05 | 专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移) | 专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移) 变更事项:申请人 变更前权利人:旭化成电子材料元件株式会社 变更后权利人:旭化成电子材料株式会社 变更事项:地址 变更前:日本东京都 变更后:日本东京都 登记生效日:20090710 |
| 2016-05-25 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101732899685 IPC(主分类):G03F 7/023 专利号:ZL2007800281997 登记生效日:20160505 变更事项:专利权人 变更前权利人:旭化成电子材料株式会社 变更后权利人:旭化成株式会社 变更事项:地址 变更前权利人:日本东京都 变更后权利人:日本东京都 |
| 2009-09-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2015-05-06 | 授权 | 授权 |