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四氯化硅汽化器后端过滤器
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021910895.X
申请日：
2020-09-04
公开(公告)号：
CN213912840U
公开(公告)日：
2021-08-10
发明(设计)人：
余斌
申请人：
申请人地址：
614200 四川省乐山市峨眉山市绥山镇大庙路1号
IPC主分类号：
B01D4624
IPC分类号：
代理机构：
成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230
代理人：
陈仕超
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-08-10 | 授权 | 授权 |