四氯化硅汽化器

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120352022.6

申请日：

2011-09-19

公开(公告)号：

CN202400856U

公开(公告)日：

2012-08-29

发明(设计)人：

黄小华曾炟宋瑜马宁

申请人：

申请人地址：

201323 上海市浦东新区祝桥镇空港工业区金闻路29号-1

IPC主分类号：

C01B33107

IPC分类号：

C01B3303

代理机构：

上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260

代理人：

卢刚

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-08-29	授权	授权
2019-09-10	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C01B 33/107 申请日:20110919 授权公告日:20120829 终止日期:20180919

共 50 条

[1]

一种四氯化硅汽化器 [P].

周奇 ;

李斌 ;

甘居富 .

中国专利 :CN204529328U ,2015-08-05

[2]

一种四氯化硅节能汽化器 [P].

施兆武 .

中国专利 :CN206069386U ,2017-04-05

[3]

一种四氯化硅汽化器 [P].

王国林 ;

王倩 ;

范爱军 .

中国专利 :CN214990303U ,2021-12-03

[4]

四氯化硅汽化器后端过滤器 [P].

余斌 .

中国专利 :CN213912840U ,2021-08-10

[5]

一种四氯化硅节能汽化器 [P].

施兆武 .

中国专利 :CN106082236A ,2016-11-09

[6]

四氯化硅汽化器沉降阻尘结构 [P].

余斌 .

中国专利 :CN213912721U ,2021-08-10

[7]

一种四氯化硅汽化器密封结构 [P].

石利松 ;

余斌 .

中国专利 :CN216687514U ,2022-06-07

[8]

一种四氯化硅汽化器管口组件 [P].

王国林 ;

王倩 ;

纪桂虎 ;

杨添荣 .

中国专利 :CN214360278U ,2021-10-08

[9]

一种可维护的四氯化硅汽化器 [P].

杨晓勇 ;

杨寿钦 ;

李菲菲 ;

王彦萍 ;

乔金花 .

中国专利 :CN216638931U ,2022-05-31

[10]

一种四氯化硅汽化器外置的除液装置 [P].

郝志发 ;

陈达闵 ;

刘端 ;

魏占超 ;

韩莹莹 ;

乔玲玲 .

中国专利 :CN223159014U ,2025-07-29

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