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一种可维护的四氯化硅汽化器

被引：0
申请号：
CN202220149742.0
申请日：
2022-01-20
公开(公告)号：
CN216638931U
公开(公告)日：
2022-05-31
发明(设计)人：
杨晓勇 杨寿钦 李菲菲 王彦萍 乔金花
申请人：
申请人地址：
257000 山东省东营市东营开发区滨海新材料园渤海路北、高原化工西
IPC主分类号：
C01B33107
IPC分类号：
代理机构：
北京汇信合知识产权代理有限公司 11335
代理人：
徐荣荣
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-05-31 授权 授权
共 50 条
[1]
四氯化硅汽化器 [P]. 
黄小华 ;
曾炟 ;
宋瑜 ;
马宁 .
中国专利 :CN202400856U ,2012-08-29
[2]
一种四氯化硅汽化器 [P]. 
王国林 ;
王倩 ;
范爱军 .
中国专利 :CN214990303U ,2021-12-03
[3]
一种四氯化硅汽化器 [P]. 
周奇 ;
李斌 ;
甘居富 .
中国专利 :CN204529328U ,2015-08-05
[4]
一种四氯化硅节能汽化器 [P]. 
施兆武 .
中国专利 :CN206069386U ,2017-04-05
[5]
一种四氯化硅汽化器密封结构 [P]. 
石利松 ;
余斌 .
中国专利 :CN216687514U ,2022-06-07
[6]
一种四氯化硅汽化器管口组件 [P]. 
王国林 ;
王倩 ;
纪桂虎 ;
杨添荣 .
中国专利 :CN214360278U ,2021-10-08
[7]
一种四氯化硅节能汽化器 [P]. 
施兆武 .
中国专利 :CN106082236A ,2016-11-09
[8]
四氯化硅汽化器沉降阻尘结构 [P]. 
余斌 .
中国专利 :CN213912721U ,2021-08-10
[9]
四氯化硅汽化器后端过滤器 [P]. 
余斌 .
中国专利 :CN213912840U ,2021-08-10
[10]
一种四氯化硅汽化器外置的除液装置 [P]. 
郝志发 ;
陈达闵 ;
刘端 ;
魏占超 ;
韩莹莹 ;
乔玲玲 .
中国专利 :CN223159014U ,2025-07-29
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