接触孔形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910194452.7

申请日：

2009-08-17

公开(公告)号：

CN101996937A

公开(公告)日：

2011-03-30

发明(设计)人：

钟政

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东张江高科技园区祖冲之路1399号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

李丽

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-05-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101071491806 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2009101944527 申请日:20090817
2011-03-30	公开	公开
2013-08-28	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101654860510 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2009101944527 申请公布日:20110330

共 50 条

[1]

接触孔形成方法 [P].

董献国 .

中国专利 :CN110767602B ,2020-02-07

[2]

接触孔形成方法 [P].

杨昌辉 ;

奚裴 ;

肖海波 .

中国专利 :CN102148191B ,2011-08-10

[3]

接触孔的形成方法 [P].

彭鑫堂 ;

王永进 ;

杨登峻 .

中国专利 :CN1469434A ,2004-01-21

[4]

接触孔形成方法 [P].

谢飞 ;

谢斯斯 ;

刘锐 ;

刘燕 ;

林涛 ;

张天翼 ;

陈晋 .

中国专利 :CN101958275A ,2011-01-26

[5]

接触孔形成方法 [P].

罗飞 .

中国专利 :CN102157435B ,2011-08-17

[6]

接触孔形成方法 [P].

J·K·朴 ;

P·D·胡斯泰特 .

中国专利 :CN106486348A ,2017-03-08

[7]

通孔或接触孔的形成方法 [P].

李程 ;

吴敏 ;

杨渝书 .

中国专利 :CN103646922B ,2014-03-19

[8]

接触孔的形成方法 [P].

黄敬勇 ;

韩秋华 .

中国专利 :CN102468217B ,2012-05-23

[9]

接触孔的形成方法 [P].

陈俊哲 ;

叶芳裕 ;

林涵智 ;

陈进贤 .

中国专利 :CN1481015A ,2004-03-10

[10]

接触孔的形成方法 [P].

夏建慧 ;

顾以理 ;

奚裴 ;

张博 ;

张雄 .

中国专利 :CN102522370A ,2012-06-27

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