接触孔形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610719050.4

申请日：

2016-08-24

公开(公告)号：

CN106486348A

公开(公告)日：

2017-03-08

发明(设计)人：

J·K·朴 P·D·胡斯泰特

申请人：

申请人地址：

美国马萨诸塞州

IPC主分类号：

H01L21033

IPC分类号：

H01L21311 H01L21768

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

陈哲锋;胡嘉倩

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-07-16	授权	授权
2017-04-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101710764221 IPC(主分类):H01L 21/033 专利申请号:2016107190504 申请日:20160824
2017-03-08	公开	公开

共 50 条

[1]

接触孔形成方法 [P].

杨昌辉 ;

奚裴 ;

肖海波 .

中国专利 :CN102148191B ,2011-08-10

[2]

接触孔形成方法 [P].

董献国 .

中国专利 :CN110767602B ,2020-02-07

[3]

接触孔形成方法 [P].

罗飞 .

中国专利 :CN102157435B ,2011-08-17

[4]

接触孔形成方法 [P].

钟政 .

中国专利 :CN101996937A ,2011-03-30

[5]

接触孔的形成方法 [P].

黄敬勇 ;

韩秋华 .

中国专利 :CN102468217B ,2012-05-23

[6]

接触孔的形成方法 [P].

陈俊哲 ;

叶芳裕 ;

林涵智 ;

陈进贤 .

中国专利 :CN1481015A ,2004-03-10

[7]

接触孔的形成方法 [P].

夏建慧 ;

顾以理 ;

奚裴 ;

张博 ;

张雄 .

中国专利 :CN102522370A ,2012-06-27

[8]

接触孔的形成方法 [P].

韩秋华 ;

黄敬勇 ;

李国锋 .

中国专利 :CN102376627B ,2012-03-14

[9]

接触孔的形成方法 [P].

张海洋 ;

王新鹏 ;

符雅丽 .

中国专利 :CN101894791B ,2010-11-24

[10]

接触孔的形成方法 [P].

彭鑫堂 ;

王永进 ;

杨登峻 .

中国专利 :CN1469434A ,2004-01-21

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