大口径光学元件表面缺陷三维形貌测量装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811123643.X

申请日：

2018-09-26

公开(公告)号：

CN109099859A

公开(公告)日：

2018-12-28

发明(设计)人：

邵建达刘世杰倪开灶黄保铭潘靖宇周游王微微鲁棋

申请人：

申请人地址：

201800 上海市嘉定区清河路390号

IPC主分类号：

G01B1124

IPC分类号：

G01B902 G01N2188

代理机构：

上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317

代理人：

张宁展

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-12-28	公开	公开
2019-01-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/24 申请日:20180926
2021-07-27	授权	授权

共 50 条

[1]

一种大口径曲面光学元件表面缺陷三维检测装置及方法 [P].

侯溪 ;

马梦聪 ;

胡小川 ;

周杨 ;

杨玥 ;

李梦凡 ;

辛强 ;

范斌 .

中国专利 :CN118882520A ,2024-11-01

[2]

一种大口径曲面光学元件表面缺陷三维检测装置及方法 [P].

侯溪 ;

马梦聪 ;

胡小川 ;

周杨 ;

杨玥 ;

李梦凡 ;

辛强 ;

范斌 .

中国专利 :CN118882520B ,2025-02-18

[3]

大口径光学元件表面缺陷的检测分类方法 [P].

陈坚 ;

吴周令 ;

黄明 .

中国专利 :CN103105400B ,2013-05-15

[4]

大口径光学元件亚表面缺陷的检测装置 [P].

邓燕 ;

许乔 ;

柴立群 ;

石琦凯 .

中国专利 :CN201589753U ,2010-09-22

[5]

大口径光学元件表面缺陷的检测分类装置 [P].

陈坚 ;

吴周令 ;

黄明 .

中国专利 :CN203069524U ,2013-07-17

[6]

大口径光学元件表面缺陷增长分析方法、系统、装置 [P].

陶显 ;

张大朋 ;

马文治 ;

侯伟 ;

徐德 .

中国专利 :CN110031471A ,2019-07-19

[7]

一种大口径光学元件表面缺陷检测装置及方法 [P].

陈晓义 ;

王璞 ;

眭越 ;

李成尧 ;

达争尚 .

中国专利 :CN119643586A ,2025-03-18

[8]

一种大口径光学元件表面缺陷检测装置及方法 [P].

陈晓义 ;

王璞 ;

眭越 ;

李成尧 ;

达争尚 .

中国专利 :CN119643586B ,2025-06-13

[9]

大口径光学元件表面损伤检测装置和方法 [P].

郭亚晶 ;

朱宝强 ;

唐顺兴 ;

姜秀青 ;

刘亚群 ;

陈欣 .

中国专利 :CN105044131B ,2015-11-11

[10]

大口径平面光学元件疵病三维快速暗场检测装置和方法 [P].

缪洁 ;

陈东贤 ;

谢雨江 ;

张雪洁 ;

崔子健 ;

杨朋千 ;

刘德安 ;

朱健强 .

中国专利 :CN105158269B ,2015-12-16

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